INCA Wave
Волнодисперсионный рентгеновский спектрометр (ВДС), специально сконструированный для точного количественного анализа при установке на СЭМ.
Ключевые преимущества ВДС:
- Микроанализ приблизительно в десять раз более чувствительный по сравнению с ЭДС
- Анализ элементов-примесей (<0.1 - <0.01%)
- Спектральное разрешение от 2эВ (Si Kα) – на порядок лучше ЭДС
- Разделение близко расположенных пиков
- Точная идентификация пиков
- Наилучшая чувствительность для анализа легких элементов
- Рентгеновское картирование с наилучшим отношением пик/фон
INCA Energy+
Программа для интеграции волнодисперсионной и энергодисперсионной систем микроанализа (для использования с системой INCA Wave WDS). Входит в комплект при единовременной поставке двух спектрометров. Позволяет произвольно выбирать тип спектрометра для каждого элемента как при количественном анализе, так и при картировании.
Многие растровые микроскопы допускают одновременную установку ЭД и ВД спектрометров: (1) оба детектора направлены в одну точку; (2) обеспечиваются необходимые величины рабочего расстояния и угла отбора
ЭДС: за несколько секунд можно получить полный спектр образца и определить его качественный и количественный химический состав
ВДС: обеспечивает более точный результат, но это относительно медленный последовательный метод анализа
Совместное использование двух спектрометров существенно повышает производительность анализа, а программная среда на базе INCA гарантирует простоту и удобство управления
