Система подавления переменных электромагнитных полей SC26
Система SC26 служит для подавления внешних электромагнитных полей в диапазоне частот от постоянного DC-поля до 9 кГц и более. Для обеспечения такой ширины диапазона SC26 обладает расширенной полосой пропускания благодаря кабелям с малой индуктивностью, размещаемым либо непосредственно на раме корпуса прибора с электронно-лучевой системой, либо на металлической рамке вокруг электронных колонн таких устройств как электронно-лучевой литограф или электронный микроскоп.
!!! Систему SC26 нельзя устанавливать в варианте «комнатной» установки с размещением контуров кабелей на стенах помещения, так как в этом случае используются кабеля большого сечения с, соответственно, индуктивностью большей, чем необходимая для обеспечения требуемой ширины полосы пропускания.
Такие высокочастотные поля могут наблюдаться на фабриках, выпускающих микроэлектронные устройства. Источник переменных 9 кГц полей - транспортные роботы для переноса полупроводниковых пластин 300-мм. Данный тип помех значительно ограничивает возможности электронно-лучевого литографа или микроскопа, оснащенного данной опцией – не позволяет достичь необходимой точности при перемещении электронного пучка к следующему узлу на пластине.
Система SC26 обеспечивает стабильную и качественную работу электронно-лучевого оборудования на фабриках, производящих микроэлектронные устройства.
Основные особенности:
- Эффективно подавляет внешние электромагнитные поля в области установки электронно-лучевого оборудования на фабриках по производству микроэлектронных устройств;
- Непрерывное широкополосное подавление внешних электромагнитных полей в реальном времени в диапазоне частот от постоянного DC-поля до 9 кГц;
- Система адаптируется к изменению амплитуды и частоты электромагнитного поля с высокой скоростью отклика – в пределах 10 мкс, что позволяет обеспечить непрерывность и стабильность подавления электромагнитных полей;
- Сенсорный экран с интуитивно понятным пользовательским интерфейсом, полностью автоматическая настройка системы и возможность сброса измеренных значений DC-поля;
- Одновременное отображение текущих значений полей AC и DC на экране в Тл или Гс;
- Смешивание сигналов от двух однотипных датчиков для создания так называемого виртуального датчика внутри электронной колонны;
- Встроенный генератор тестового поля;
- Порты Ethernet и USB для обеспечения подключений для удаленного контроля и мониторинга электромагнитных полей.
Стандартная комплектация:
- Электронный блок управления SC26;
- Датчик SC26 / AC (в количестве от 1 до 2);
- Датчик SC24 / DC + AC (в количестве от 1 до 2);
- Объединитель сигналов от двух типов датчиков SC26 combiner (в количестве от 1 до 2);
- Три многожильных кабеля (катушки Гельмгольца) в вариантах длин для одно- и двухконтурного размещения;
- Рамка для размещения кабелей контуров вокруг электронной колонны (при необходимости);
- Набор принадлежностей для крепления кабелей.
В системе SC26 используются следующие датчики для измерения значений магнитных полей:
- Датчик SC26 / AC – 200 кГц трёхосевой датчик переменного магнитного поля (синего цвета). Он обеспечивает эффективное подавление полей частотой до 10 Гц.
- Датчик SC24 / DC + AC – датчик постоянного DC-поля, комбинированный с трёхосевым датчиком переменного магнитного поля 50/60 Гц (черного цвета).
