Высокотехнологичное
аналитическое 
оборудование
+ 7 812 322 58 99
Пн.-Пт. 10:00 – 18:00 (МСК)
Главная
О компании
  • История TESCAN
  • TESCAN в России и СНГ
  • Новости
  • Вакансии
  • Лицензии и сертификаты
Оборудование
  • Сканирующие электронные микроскопы
    Сканирующие электронные микроскопы
    • TESCAN VEGA Compact
    • TESCAN VEGA
    • TESCAN MIRA
    • TESCAN CLARA
    • TESCAN MAGNA
    • TESCAN TIMA
  • Двулучевые сканирующие электронные микроскопы
    Двулучевые сканирующие электронные микроскопы
    • TESCAN AMBER
    • TESCAN AMBER X
    • TESCAN SOLARIS
    • TESCAN SOLARIS X
  • Рентгеновские томографы
    Рентгеновские томографы
    • TESCAN CoreTOM
    • TESCAN DynaTOM
  • Детекторы и аксессуары TESCAN
    Детекторы и аксессуары TESCAN
    • Детекторы SE
    • Детекторы BSE
    • Детекторы In-Beam
    • Детекторы STEM
    • Детекторы CL
    • Детектор SITD
    • Аксессуары
  • Аналитические системы
    Аналитические системы
    • EDS
    • EBSD
    • WDS
    • TOF-SIMS
    • AFM
  • Сопутствующее оборудование
    Сопутствующее оборудование
    • Напылительные установки
    • Ионная полировка
    • Сушка в критической точке
    • Микромеханическая обработка
    • Системы измерения и подавления ЭМ полей
  • Рентгеновские дифрактометры
    Рентгеновские дифрактометры
    • DX-2700
    • DX-27mini
  • Прочие детекторы и аксессуары
    Прочие детекторы и аксессуары
    • Столики Deben MICROTEST
    • Столик с нагревом GATAN Murano™
    • Нанозондовые столики Kleindiek Prober Shuttle
  • Расходные материалы
    Расходные материалы
    • Электропроводящие ленты, диски, пасты
    • Столики и держатели для крепления образцов
    • Контейнеры для хранения образцов
    • Материалы для обслуживания микроскопов
    • Сетки для TEM
    • Иглы для наноманипуляторов
    • Материалы для напыления
    • Материалы для изготовления реплик
Расходные материалы
Применение
  • Академия ТЕСКАН
    • Что такое СЭМ?
    • Детекторы и аксессуары
    • Внутрикамерные детекторы
    • Внутрилинзовые детекторы
    • FIB-SEM: области и возможности применения
    • Обзор методов пробоподготовки
    • Список литературы
  • Статьи
  • Галерея изображений
  • Видеоматериалы
Новости
Календарь
Контакты
    TESCAN
    Меню  
    • Главная
    • О компании
      • История TESCAN
      • TESCAN в России и СНГ
      • Новости
      • Вакансии
      • Лицензии и сертификаты
    • Оборудование
      • Сканирующие электронные микроскопы
        • TESCAN VEGA Compact
        • TESCAN VEGA
        • TESCAN MIRA
        • TESCAN CLARA
        • TESCAN MAGNA
        • TESCAN TIMA
      • Двулучевые сканирующие электронные микроскопы
        • TESCAN AMBER
        • TESCAN AMBER X
        • TESCAN SOLARIS
        • TESCAN SOLARIS X
      • Рентгеновские томографы
        • TESCAN CoreTOM
        • TESCAN DynaTOM
      • Детекторы и аксессуары TESCAN
        • Детекторы SE
        • Детекторы BSE
        • Детекторы In-Beam
        • Детекторы STEM
        • Детекторы CL
        • Детектор SITD
        • Аксессуары
      • Аналитические системы
        • EDS
        • EBSD
        • WDS
        • TOF-SIMS
        • AFM
      • Сопутствующее оборудование
        • Напылительные установки
        • Ионная полировка
        • Сушка в критической точке
        • Микромеханическая обработка
        • Системы измерения и подавления ЭМ полей
      • Рентгеновские дифрактометры
        • DX-2700
        • DX-27mini
      • Прочие детекторы и аксессуары
        • Столики Deben MICROTEST
        • Столик с нагревом GATAN Murano™
        • Нанозондовые столики Kleindiek Prober Shuttle
      • Расходные материалы
        • Электропроводящие ленты, диски, пасты
        • Столики и держатели для крепления образцов
        • Контейнеры для хранения образцов
        • Материалы для обслуживания микроскопов
        • Сетки для TEM
        • Иглы для наноманипуляторов
        • Материалы для напыления
        • Материалы для изготовления реплик
    • Расходные материалы
    • Применение
      • Академия ТЕСКАН
        • Что такое СЭМ?
        • Детекторы и аксессуары
        • Внутрикамерные детекторы
        • Внутрилинзовые детекторы
        • FIB-SEM: области и возможности применения
        • Обзор методов пробоподготовки
        • Список литературы
      • Статьи
      • Галерея изображений
      • Видеоматериалы
    • Новости
    • Календарь
    • Контакты
    Заказать звонок
    +7 (812) 322 58 99
    TESCAN
    • Главная
    • О компании
      • Назад
      • О компании
      • История TESCAN
      • TESCAN в России и СНГ
      • Новости
      • Вакансии
      • Лицензии и сертификаты
    • Оборудование
      • Назад
      • Оборудование
      • Сканирующие электронные микроскопы
        • Назад
        • Сканирующие электронные микроскопы
        • TESCAN VEGA Compact
        • TESCAN VEGA
        • TESCAN MIRA
        • TESCAN CLARA
        • TESCAN MAGNA
        • TESCAN TIMA
      • Двулучевые сканирующие электронные микроскопы
        • Назад
        • Двулучевые сканирующие электронные микроскопы
        • TESCAN AMBER
        • TESCAN AMBER X
        • TESCAN SOLARIS
        • TESCAN SOLARIS X
      • Рентгеновские томографы
        • Назад
        • Рентгеновские томографы
        • TESCAN CoreTOM
        • TESCAN DynaTOM
      • Детекторы и аксессуары TESCAN
        • Назад
        • Детекторы и аксессуары TESCAN
        • Детекторы SE
        • Детекторы BSE
        • Детекторы In-Beam
        • Детекторы STEM
        • Детекторы CL
        • Детектор SITD
        • Аксессуары
      • Аналитические системы
        • Назад
        • Аналитические системы
        • EDS
        • EBSD
        • WDS
        • TOF-SIMS
        • AFM
      • Сопутствующее оборудование
        • Назад
        • Сопутствующее оборудование
        • Напылительные установки
        • Ионная полировка
        • Сушка в критической точке
        • Микромеханическая обработка
        • Системы измерения и подавления ЭМ полей
      • Рентгеновские дифрактометры
        • Назад
        • Рентгеновские дифрактометры
        • DX-2700
        • DX-27mini
      • Прочие детекторы и аксессуары
        • Назад
        • Прочие детекторы и аксессуары
        • Столики Deben MICROTEST
        • Столик с нагревом GATAN Murano™
        • Нанозондовые столики Kleindiek Prober Shuttle
      • Расходные материалы
        • Назад
        • Расходные материалы
        • Электропроводящие ленты, диски, пасты
        • Столики и держатели для крепления образцов
        • Контейнеры для хранения образцов
        • Материалы для обслуживания микроскопов
        • Сетки для TEM
        • Иглы для наноманипуляторов
        • Материалы для напыления
        • Материалы для изготовления реплик
    • Расходные материалы
    • Применение
      • Назад
      • Применение
      • Академия ТЕСКАН
        • Назад
        • Академия ТЕСКАН
        • Что такое СЭМ?
        • Детекторы и аксессуары
        • Внутрикамерные детекторы
        • Внутрилинзовые детекторы
        • FIB-SEM: области и возможности применения
        • Обзор методов пробоподготовки
        • Список литературы
      • Статьи
      • Галерея изображений
      • Видеоматериалы
    • Новости
    • Календарь
    • Контакты
    • +7 (812) 322 58 99
    г. Санкт-Петербург, Гражданский проспект д.11, офис 212; А/Я 24, здание института «Гипроникель»
    info@tescan.ru
    • Вконтакте
    • YouTube
    • Главная
    • Оборудование
    • Сопутствующее оборудование
    • Напылительные установки
    • Q150T Plus
    • Q150T Plus

    Q150T Plus

    • Описание
    • Характеристики
    • Аксессуары
    • Фото
    Описание

    Напылительная установка с турбомолекулярной откачкой Q150T Plus производства Quorum Technologies Ltd. предназначена для пробоподготовки для электронной микроскопии, а именно для напыления образцов окисляющимися металлами и углеродом. Также она обладает возможностью термического испарения металлов.

    Установка Q150T Plus выпускается в трёх версиях:

    • Q150T S Plus – установка для магнетронного распыления окисляющихся металлов. Доступные металлы: Cr, Ir, W, Al, Co, Fe, Mg, Mo, Ni, Ti, Ta, Au, Ag, Pd, Pt и Cu.
    • Q150T E Plus – установка для испарения углерода, термического испарения металлов и чистки апертур. Доступные материалы: углеродная нить, углеродный шнур, углеродные стержни, Mo, W. Возможен режим тлеющего разряда.
    • Q150T ES Plus – комбинированная установка для напыления как металлами, так и углеродом, а также для термического испарения металлов (Mo, W) и чистки апертур. Возможен режим тлеющего разряда.

    Напылительная установка Q150T Plus предназначена для применения в подготовке образцов для электронной микроскопии и не является профессиональным или технологическим напылительным прибором.

    Рекомендуемые области применения

    • Высокие увеличения в электронной микроскопии (от 50 000 крат и выше)
    • Защитные покрытия для FIB
    • Изучение и разработка коррозионностойких, устойчивых к трению и износостойких покрытий
    • Защитные покрытия медицинских приборов
    • Получение BSE изображений
    • Напыления образцов для настольного электронного микроскопа
    • Элементный анализ (EDS, WDS) и микротекстурный анализ (EBSD)
    • Напыление реплик углеродом

    Новый пользовательский интерфейс

    • Лёгкий в использовании ёмкостный сенсорный дисплей
    • Обширный встроенный help
    • Наличие USB позволяет легко производить обновление программного обеспечения, а также копировать файлы рецептов напыления на флешку
    • Выгрузка логов процесса напыления в формате .csv для анализа в Excel или аналогичной программе
    • 16 Гб памяти позволяет хранить более 1000 рецептов напыления
    • Двухядерный ARM процессор для быстрого отзывчивого дисплея
    Несколько пользователей могут вносить и хранить рецепты напыления, добавлена возможность сортировать рецепты по пользователю в согласии с недавним использованием.
    Интеллектуальная система автоматически определяет, какая вставка для напыления установлена в данный момент и затем автоматически выбирает подходящие рабочие параметры и настройки для данного процесса напыления.
    Система автоматически подбирает подходящие параметры для выбранного материала напыления.
    Интуитивное программное обеспечение позволяет быстро вносить и хранить свои данные процессов напыления даже самому неопытному пользователю. Некоторое число типовых рецептов напыления уже внесены в память установки, но пользователь также может создавать свои собственные рецепты.
    Программа определяет сбой при попытке достичь вакуума в установленный период времени и останавливает процесс в случае утечки вакуума, что обеспечивает защиту насоса от перегрева.

    Автоматическое, управляемое импульсное испарение углеродного шнура

    Аккуратное испарение позволяет точно контролировать толщину напылённого слоя углерода (с или без измерителя толщины напыления). Качество результирующего углеродного покрытия также улучшено ликвидацией «искрения», которое является общей чертой всех менее совершенных напылительных приборов.

    Для получения воспроизводимых высококачественных углеродных покрытий рекомендуется использовать заточенные углеродные стержни. Стержни обладают более высокой чистотой материала, менее склонны к образованию осколков углерода и легче поддаются контролю толщины напыления. Рецепты импульсного и постепенного испарения углеродного стержня занесены в типовые рецепты напыления.

    Холодное магнетронное распыление

    Магнетронное распыление это метод, широко используемые в различных приложениях: можно создать плазму и испарять металлы высоким напряжением, в невысоком вакууме и без автоматизации. Однако, данный метод не годится для применений в электронной микроскопии, поскольку образец будет нагреваться и может быть повреждён в результате взаимодействия плазмы с образцом. Напылительная установка Q150T Plus использует низкотемпературный магнетрон, скомбинированный с низким током и контролем осаждения, что обеспечивает защиту образца и его однородное напыление.

    Приборы Q150T S Plus и Q150T ES Plus используют легко меняемые мишени в виде диском диаметром 57 мм, которые спроектированы для распыления различных металлов. В стандартной поставке версий Q150T S Plus и Q150T ES Plus есть мишень из хрома.

    Доступны также: Cr, Ir, W, Al, Co, Fe, Mg, Mo, Ni, Ti, Ta, Au, Ag, Pd, Pt и Cu. 

    Сменные вставки для распыления

    Сменные вставки для распыления позволяют пользователю конфигурировать прибор для магнетронного распыления металлов, испарения углерода, термического испарения металлов или тлеющего разряда – всё в одном. Прибор автоматически определяет тип вставки для распыления при её смене

    Съёмная камера напыления с защитой от имплозии (взрыва вовнутрь)

    Съёмная камера напыления обеспечивает лёгкую чистка прибора. При необходимости пользователи могут быстро сменить камеру напыления, чтобы избежать перекрёстного загрязнения чувствительных образцов. Доступна камеры увеличенной высоты, которая позволяет напылять высокие образцы, избежать нагрева образца, а также улучшить однородность распыления. 

    Столики образцов

    Q150T Plus обладает столиками образцов, способными удовлетворить большинству требований. Все столики легко меняются, устанавливаются и регулируются по высоте (за исключением столика с планетарной моделью вращения).

    Некоторые примеры столиков:

    • Базовый вращающийся столик диаметром 50 мм. Можно разместить на нём до 6 столиков образцов для электронной микроскопии. Высота столика устанавливается предварительно перед процессом напыления.
    • Вращающийся столик диаметром 50 мм с регулируемыми углом наклона для более однородного напыления. Угол наклона и высота устанавливаются предварительно перед процессом напыления.
    • Столик с планетарной моделью вращения для образцов сложной формы.
    • Большой плоский вращающийся столик со смещённой осью для 4″ /100 мм пластин.

    Безопасность

    Напылительная установка Q150T Plus отвечает всем ключевым промышленным стандартам Совета Европы (CE):

    • Все электронные компоненты защищены крышками.
    • Защита от имплозии (взрыва вовнутрь) предохраняет пользователя от травм в случае неисправности камеры напыления.
    • Вакуумные блокираторы обесточивают источники осаждения для защиты пользователя от высокого напряжения в случае открытия камеры напыления.
    • Электрические блокираторы обесточивают прибор, когда открыта крышка камеры напыления.
    • Защита от перегрева отключает питание установки.

    Характеристики

    Габариты

    585 мм (ширина) × 521 мм (глубина) × 410 мм (высота)

    Высота с поднятой крышкой камеры напыления: 650 мм

    Вес

    32 кг

    Камера напыления

    Боросиликатное стекло 150 мм (внутренний диаметр) × 127 мм (высота)

    Дисплей

    Емкостной сенсорный дисплей, формат 640 × 480

    Активная область: 115.5 мм (ширина) × 86.4 мм (высота)

    Пользовательский интерфейс

    Полностью графический интерфейс с сенсорными кнопками, включает в себя такие опции, как лог-файл последних 1000 напылений и напоминания о том, когда необходимо произвести техническое обслуживание установки.

    Мишень

    В комплекте с версиями T S и T ES идёт мишень из хрома в виде диска 57 мм (диаметр) × 0.3 мм (толщина)

    Другие мишени доступны опционально

    Столик образцов

    Вращающийся столик диаметром 50 мм со скоростью вращения 8 – 20 об/мин

    Другие столики доступны опционально

    Вакуум

    Насосы: двухступенчатый роторный насос с малоуловительным фильтром и скоростью откачки 5 м3/ч и турбомолекулярный насос со скоростью откачки 67 л/с

    Измерение вакуума: датчик Пирани. Доступен датчик измерения вакуума с увеличенным диапазоном.

    Наивысший вакуум: 5 × 10-5 мбар (значение при чистом приборе после предварительной откачки осушенным азотом)

    Диапазон рабочего вакуума: 5 × 10-3 – 1 × 10-1 мбар

    Процессы

    Магнетронное распыление металлов: Cr, Ir, W, Al, Co, Fe, Vg, Mo, Ni, Ti, Ta, Au, Ag, Pd, Pt и Cu.

    Ток магнетронного распыления: 0 – 150 мА 

    Максимальное время магнетронного распыления: 60 минут (без нарушения вакуума и с автоматическими циклами охлаждения)

    Испарение углеродной нити/шнура и углеродных стержней.

    Термическое испарение металлов, чистка апертур: Mo, W.

    Режим тлеющего разряда: делает поверхность образца гидрофильной/гидрофобной.

    Визуальный индикатор процесса

    Большой цветной дисплей предоставляет визуальную индикацию состояния оборудования, позволяя пользователям легко идентифицировать стадию процесса на расстоянии.

    • Индикатор показывает следующие стадии:

    • Инициализация процесса

    • Процесс запущен

    • Бездействие

    • Напыление в процессе

    • Процесс завершён

    • Процесс завершился неисправностью

    Звуковая индикация также сигнализирует о завершении процесса

    Аксессуары

    10068 Дополнительная камера напыления

    10429 Камера напыления увеличенной высоты (214 мм)

    10454 Измеритель толщины напыления.

    C5460 Кварцевый кристалл для измерителя толщины напыления

    10455 Вставка для испарения углеродной нити/шнура 

    10879 Вставка для испарения углеродных стержней 3.05 мм

    10457 Вставка для термического испарения металлов и чистки апертур, позволяет испарять метал, как сверху, так и снизу образца (только для версий T E Plus и T ES Plus)

    10453 Дополнительная вставка для распыления металлов, для быстрой смены металлов (только для версий T S Plus и T ES Plus)

    10262 Вставка для тлеющего разряда, делает поверхность образца гидрофильной/гидрофобной (только для версий T S Plus и T ES Plus)

    10428 датчик измерения вакуума с увеличенным диапазоном

    10357 Вращающийся столик с регулируемыми углом наклона (до 90°) и высотой (37 – 60 мм)

    10360 Столик с планетарной моделью вращения

    C5460-100 Катушка углеродной нити (100 м)

    C5421-100 Катушка углеродного шнура (100 м)

    Ручная точилка для углеродных стержней

    Мишени (диаметр 57 мм): Cr, Ir, W, Al, Co, Fe, Vg, Mo, Ni, Ti, Ta, Au, Ag, Pd, Pt, Cu

    B5228 Молибденовые лодочки (10 штук)

    B5230 Вольфрамовые корзинки (10 штук)

    Фото
    • Q150T Plus

    Поделиться
    Назад к списку
    Подписывайтесь на рассылку новостей:
    Оборудование
    Применение
    Новости
    Пользователи и партнеры
    Все статьи и заметки
    Материаловедение
    Микроэлектроника
    Геология и минералогия
    Науки о живом
    Записаться на демонстрационное исследование
    Сервисное обслуживание
    Лаборатория под ключ
    +7 (812) 322 58 99
    г. Санкт-Петербург, Гражданский проспект д.11, офис 212; А/Я 24, здание института «Гипроникель»
    info@tescan.ru
    © ООО «‎ТЕСКАН» 2023
    Разработка сайта  –