Детекторы и аксессуары производства TESCAN

В сканирующем электронном микроскопе (СЭМ) при взаимодействии сфокусированного пучка электронов с поверхностью образца возникают разные виды сигналов, каждый из которых передаёт определённую информацию об образце и регистрируется специальным детектором. Микроскопы оснащаются набором детекторов для получения разнообразной информации об образцах. Быстродействие и чувствительность детекторов определяют качество работы прибора, поэтому детекторы производства TESCAN имеют уникальную конструкцию, разработанную специалистами TESCAN. Сканирующий электронный микроскоп комплектуется по модульному принципу, т.е. к имеющейся электронно-оптической колонне добавляются детекторы. Колонна и камера микроскопа TESCAN допускают одновременную установку от 12 до 20 различных детекторов и аксессуаров в зависимости от размера камеры образцов. Набор детекторов варьируется в соответствии с областью исследований. Детекторы можно докупать к уже имеющемуся микроскопу, постепенно превращая СЭМ в многофункциональный исследовательский комплекс.

Ниже ссылки на обзоры детекторов и аксессуаров производства TESCAN, у всех перечисленных детекторов общий принцип формирования электронного изображения.

• Внутрикамерные детекторы

• Внутрилинзовые детекторы (страница в разработке)

• Аксессуары TESCAN (страница в разработке)

Сканирующий электронный микроскоп, оснащённый почти максимальным количеством детекторов и аксессуаров, вид снаружи (слева) и изнутри вакуумной камеры образцов (справа). Предполагается, что образец находится в определённой виртуальной точке внутри камеры, конструкции всех детекторов оптимизированы для регистрации сигнала из этой точки

 

Сканирующий электронный микроскоп, оснащённый почти максимальным количеством детекторов и аксессуаров, вид снаружи (слева) и изнутри вакуумной камеры образцов (справа). Предполагается, что образец находится в определённой виртуальной точке внутри камеры, конструкции всех детекторов оптимизированы для регистрации сигнала из этой точки