Напылительная установка с роторной откачкой Q150R Plus производства Quorum Technologies Ltd. предназначена для пробоподготовки для электронной микроскопии, а именно для напыления образцов благородными металлами и углеродом.
Установка Q150R Plus выпускается в трёх версиях:
- Q150R S Plus – установка для магнетронного распыления благородных металлов. Доступные металлы: Au, Ag, Pd, Pt и Cu.
- Q150R E Plus – установка для испарения углерода. Доступные материалы: углеродная нить, углеродный шнур, углеродные стержни.
- Q150R ES Plus – комбинированная установка для напыления как благородными металлами, так и углеродом.
Напылительная установка Q150R Plus предназначена только для подготовки образцов для электронной микроскопии и не является профессиональным или технологическим напылительным прибором.
Рекомендуемые области применения
- Низкие и средние увеличения в электронной микроскопии (до 50 000 крат при использовании золотого или золото-палладиевого напыления, до 100 000 крат при использовании платинового напыления)
- Увеличение SE сигнала
- Напыление образцов для настольного электронного микроскопа
- Элементный анализ
- Медные слои металлизации
Новый пользовательский интерфейс
- Лёгкий в использовании ёмкостный сенсорный дисплей
- Обширный встроенный help
- Наличие USB позволяет легко производить обновление программного обеспечения, а также копировать файлы рецептов напыления на флешку
- Выгрузка логов процесса напыления в формате .csv для анализа в Excel или аналогичной программе
- 16 Гб памяти позволяет хранить более 1000 рецептов напыления
- Двухядерный ARM процессор для быстрого отзывчивого дисплея
Несколько пользователей могут вносить и хранить рецепты напыления, добавлена возможность сортировать рецепты по пользователю в согласии с недавним использованием.
Интеллектуальная система автоматически определяет, какая вставка для напыления установлена в данный момент и затем автоматически выбирает подходящие рабочие параметры и настройки для данного процесса напыления.
Система автоматически подбирает подходящие параметры для выбранного материала напыления.
Интуитивное программное обеспечение позволяет быстро вносить и хранить свои данные процессов напыления даже самому неопытному пользователю. Некоторое число типовых рецептов напыления уже внесены в память установки, но пользователь также может создавать свои собственные рецепты.
Программа определяет сбой при попытке достичь вакуума в установленный период времени и останавливает процесс в случае утечки вакуума, что обеспечивает защиту насоса от перегрева.
Автоматическое, управляемое импульсное испарение углеродного шнура
Процесс испарения углерода можно контролировать с помощью измерителя толщины напыления, который представляет собой кварцевые весы. При данном процессе испарение углерода происходит короткими управляемыми импульсами, что влечёт за собой два эффекта: защита образца от нагрева и обеспечение точности измерителя толщины напыления. Импульсное испарение также значительно снижает количество осколков углерода (включая большие углеродные фрагменты), возникающих при традиционном «мгновенном» испарении углерода. Рецепты импульсного и постепенного испарения углеродного шнура занесены в типовые рецепты напыления.
Холодное магнетронное распыление
Магнетронное распыление это метод, широко используемые в различных приложениях: можно создать плазму и испарять металлы высоким напряжением, в невысоком вакууме и без автоматизации. Однако, данный метод не годится для применений в электронной микроскопии, поскольку образец будет нагреваться и может быть повреждён в результате взаимодействия плазмы с образцом. В Напылительная установка Q150R Plus использует низкотемпературный магнетрон, оптимизированный для уровня вакуума, создаваемого роторным насосом, и скомбинированные с низким током и контролем осаждения, что обеспечивает защиту образца и его однородное напыление.
Приборы Q150R S Plus и Q150R ES Plus используют легко меняемые мишени в виде диском диаметром 57 мм, которые спроектированы для распыления благородных металлов. В стандартной поставке версий Q150R S Plus и Q150R ES Plus есть золотая мишень.
Доступны также: Ag, Pd, Au/Pd, Pt, Pt/Pd и Cu. Для распыления платины требуется дополнительный специальный вакуумный шланг.
Сменные вставки для распыления
Сменные вставки для распыления позволяют пользователю конфигурировать прибор для магнетронного распыления металлов, испарения углерода или тлеющего разряда – всё в одном. Прибор автоматически определяет тип вставки для распыления при её смене
Съёмная камера напыления с защитой от имплозии (взрыва вовнутрь)
Съёмная камера напыления обеспечивает лёгкую чистка прибора. При необходимости пользователи могут быстро сменить камеру напыления, чтобы избежать перекрёстного загрязнения чувствительных образцов. Доступна камера увеличенной высоты, которая позволяет напылять высокие образцы, избежать нагрева образца, а также улучшить однородность распыления.
Столики образцов
Q150R Plus обладает столиками образцов, способными удовлетворить большинству требований. Все столики легко меняются, устанавливаются и регулируются по высоте (за исключением столика с планетарной моделью вращения).
Некоторые примеры столиков:
- Базовый вращающийся столик диаметром 50 мм. Можно разместить на нём до 6 столиков образцов для электронной микроскопии. Высота столика устанавливается предварительно перед процессом напыления.
- Вращающийся столик диаметром 50 мм с регулируемым углом наклона для более однородного напыления. Угол наклона и высота устанавливаются предварительно перед процессом напыления.
- Столик с планетарной моделью вращения для напыления образцов сложной формы.
- Большой плоский вращающийся столик со смещённой осью для 4″ /100 мм пластин.
Безопасность
Напылительная установка Q150R Plus отвечает всем ключевым промышленным стандартам Совета Европы (CE):
- Все электронные компоненты защищены крышками.
- Защита от имплозии (взрыва вовнутрь) предохраняет пользователя от травм в случае неисправности камеры напыления.
- Вакуумные блокираторы обесточивают источники осаждения для защиты пользователя от высокого напряжения в случае открытия камеры напыления.
- Электрические блокираторы обесточивают прибор, когда открыта крышка камеры напыления.
- Защита от перегрева отключает питание установки.
