Специально разработан для анализа наноструктур со сверхвысоким пространственным разрешением.
- Предназначен для исследований при малых ускоряющих напряжениях от 1 до 7кэВ. Для микроскопов с иммерсионной оптикой диапазон применения расширяется до 30кэВ.
- Отсутствие полимерного окна позволяет значительно повысить чувствительность (от 1,5 до 8 раз по сравнению с детекторами с полимерным окном) для анализа легких элементов - от лития!
- Оптимизирован для работы на малых рабочих расстояниях (до 3мм) при высоких значениях телесного угла.
- Достижимое пространственное разрешение: 10нм для массивных образцов (при ~2кэВ); 5нм для утоненных образцов (продемонстрировано на микроскопах с разрешением <1нм при 30кэВ).
