Оборудование

FIB-SEM c ионной колонной на основе жидкометаллического источника ионов Ga⁺ и неиммерсионной электронной колонной с ультравысоким разрешением

FIB-SEM с плазменной пушкой в качестве источника ионов Xe⁺ и неиммерсионной электронной колонной с ультравысоким разрешением

FIB-SEM c ионной колонной на основе жидкометаллического источника ионов Ga⁺ и электронной колонной сверхвысокого разрешения

FIB-SEM с плазменной пушкой в качестве источника ионов Xe⁺ и электронной колонной сверхвысокого разрешения