Детектор вторичных ионов SITD
Рисунок 1. Включения оксида алюминия: а - детектор вторичных электронов (SE); б - детектор вторичных ионов (SITD).
Детектор вторичных ионов сцинтилляционного типа расширяет аналитические возможности двулучевых микроскопов TESCAN FIB-SEM. SITD-детектор позволяет регистрировать положительные вторичные ионы (SI), генерируемые первичным ионным пучком.
Принцип действия SITD-детектора основан на том, что вторичные ионы ускоряются полем специального конверсионного электрода, к которому приложен отрицательный потенциал, приобретают дополнительную кинетическую энергию, бомбардируют поверхность электрода и вызывают вторичную электронную эмиссию. Далее вторичные электроны детектируются обычным способом с помощью сцинтилляционного детектора Эверхарта-Торнли.
Сигнал вторичных ионов позволяет пользователю получить новый тип контраста. Вторичные ионы испускаются из поверхностного слоя, который примерно в десять раз тоньше, чем глубина выхода вторичных электронов, индуцированных ионами. В связи с этим сигнал вторичных ионов очень чувствителен к поверхности и тем выше, чем тяжелее материал, за исключением оксидов, так как кислород значительно увеличивает выход вторичных ионов, в результате чего оксиды на SI-изображениях становятся очень яркими. Это делает SITD идеальным инструментом для обнаружения коррозии.
Сигнал вторичных ионов обычно намного слабее сигнала вторичных электронов, генерируемых первичным ионным пучком, поэтому при работе со STID-детектором необходимо выбирать более длительное время сканирования и более высокие токи зонда.