Оборудование

для получения изображений с топографическим контрастом

для получения изображений композиционного контраста

встроенные в объективную линзу

для регистрации прошедших сквозь образец электронов

для изучения материалов, испускающих видимый свет при облучении пучком электронов

для регистрации вторичных ионов, генерируемых первичным ионным пучком

Деконтаминатор, ИК-камера, шлюз, GIS, наноманипулятор, Rocking Stage, Beam Blanker...