Модуль для сканирующей зондовой микроскопии Nenovision LiteScopeTM, интегрируемый в камеру сканирующего электронного микроскопа
Корреляционная зондовая и электронная микроскопия (CPEM) – это методика, объединяющая сканирующую электронную микроскопию (SEM) и сканирующую зондовую микроскопию (SPM). С помощью данной методики изображение заданного участка поверхности образца может быть получено одновременно в SEM и SPM режимах в общей системе координат. Таким образцом, совмещенное (корреляционное) изображение содержит дополнительную информацию о топографии и других особенностях поверхности образца.
Ключевые преимущества:
-
Трехмерная визуализация структуры поверхности.
-
Комплексная информация о поверхности – топография, шероховатость, магнитные и электрические свойства, проводимость и др.
-
Живое SEM-изображение обеспечивает точную навигацию и позиционирование SPM-зонда на интересующем участке поверхности образца.
-
Удобное управление модулем и простая интеграция в камеру SEM.
-
Широкий спектр режимов зондового сканирования (AFM, EFM, MFM, STM).