Технические характеристики
Сканер
XY Сканер:
- Максимальный диапазон сканирования в плоскости XY: 50 мкм
- Разрешение в плоскости XY: 1 нм
Z Сканер:
- Максимальный диапазон сканирования по оси Z: 4 мкм
- Разрешение по оси Z: 0,1 нм
Столик образцов
- Диапазон перемещений в плоскости XY: 15 мм
- Шаг перемещения в плоскости XY: 40 нм
- Диапазон перемещения по оси Z: 15 мм
- Шаг перемещения по оси Z: 40 нм
- Функция автоматического подвода кантилевера к поверхности образца (Auto Fast Approach)
Крепление образца
- Максимальный диаметр образца: 20 мм
- Максимальная толщина образца: 10 мм
- Имеется лёгкий магнитный держатель образца
- Возможность подачи напряжения на образец в диапазоне от -10 В до + 10 В
Оптическая система навигации
- Цветное изображение, разрешение 8 Мп
- Увеличение от 60 крат до 600 крат
- Встроенная подсветка с регулятором
Измерительная головка
- Высокоточный регулируемый микрометр
- Длина волны лазера: 670 нм
- Максимальная мощность лазерного диода: 5 мВт
- 4-х секционный фотодиод высокого качества
- Функция дизеринга
- Оптимизированная оптическая схема
Аксессуары
- Набор для крепления образца
- Подложка для образца
- Различные типы кантилеверов
Электроника
АЦП и ЦАП каналы:
- 4-х канальный АЦП 24 бит
- 4-х канальный ЦАП 24 бит
Обработка сигналов:
- Zynq-процессор 40 МГц
Встроенные функции:
- 100 МБит/с по LAN
Программное обеспечение
Получение изображений:
- 100 Мбит/с в режиме реального времени, совместимость с Windows
- Встроенные оптические смотровые окна для обзора образца и кантилевера
- Автоматическое сохранение полученных изображений в галерее программного обеспечения
- Сканирование выделенной области уже собранного изображения
Работа с изображениями:
- Отдельная программа для обработки изображений, анализа и представления данных
- Возможность экспорта различных данных с полученных изображений
- Совместимость с ОС Windows
Управляющая станция
- Core i5-7200U CPU
- 8 Гб DDR4 RAM
- Монитор с диагональю 21 дюйм, 1920 х 1080 пикс
Габариты и вес АСМ-модуля
- 300 мм х 400 мм x 300 мм, 20 кг
Опции
XY Сканер:
- Расширенный диапазон сканирования 100 um
Набор для замены зондов:
- Вакуумный пинцет
Стандартные моды: Контактная, Бесконтактная, Динамическая полуконтактная (Tapping)
Функциональные комплекты:
Fly Kit
- Магнитно-силовая микроскопия (MFM)
- Электростатическая силовая микроскопия (EFM)
- Фазовый контраст
Pro Contact Kit
- Метод латеральных сил (LFM)
- Силовая спектроскопия
- Механическая нанолитография
Experts Kit
- Химическая нанолитография
- Метод Модуляции Силы (FMM)
- Проводящая атомно-силовая микроскопия (C-AFM)
- Кельвин-Зондовая Силовая Микроскопия (KPFM)
- Силовая Микроскопия Пьезоотклика (PFM)
*Возможна кастомизация оборудования исходя из дополнительных требований Заказчика
