Orage - новейшая галлиевая ионная колонна (FIB), пришедшая на смену хорошо зарекомендовавшей себя колонне Cobra. Новая конструкция оптимизирована и обеспечивает прекрасную фокусировку ионного зонда в самых сложных и востребованных режимах работы: при низкой энергии ионов, а также при высоком ионном токе.
Ионная колонна модели Orage характеризуется высоким разрешением в широком диапазоне значений тока ионного зонда. Настройка положения оптических элементов ионной колонны с помощью пьезодвигателей обеспечивает отличную воспроизводилось характеристик FIB и простую юстировку «в один клик» во всем диапазоне ускоряющих напряжений и значений тока пучка.
Характеристики пучка при работе на низких энергиях (HV) улучшены благодаря оптимизации конструкции конденсора и использования пьезоуправляемой регулировки положения ионной пушки. Работа на низких энергиях уменьшает аморфизацию ламелей, вырезаемых для просвечивающей электронной микроскопии (TEM), что соответствует современным требованиям полупроводниковых технологий.
Ключевые преимущества
- Пневматический клапан изолирует ионную пушку от нижней части колонны, а жидкометаллический источник помещён в картридж для быстрой и лёгкой замены и обслуживания.
- Пьезорегулировка положения источника ионов галлия.
- Полностью интегрированные электростатический прерыватель пучка и цилиндр Фарадея для прецизионного измерения тока зонда.
- Легко адаптируется к любым вакуумным камерам, также доступна в ультра-высоковакуумной конфигурации (отжиг при температуре до 120 °C).
