Сканирующая
Электронная
Микроскопия
+ 7 812 322 58 99
Пн.-Пт. 10:00 – 18:00 (МСК)
Главная
О компании
  • История TESCAN
  • TESCAN в России и СНГ
  • Новости
  • Вакансии
  • Лицензии и сертификаты
Оборудование
  • Сканирующие электронные микроскопы
    Сканирующие электронные микроскопы
    • TESCAN VEGA Compact
    • TESCAN VEGA
    • TESCAN MIRA
    • TESCAN CLARA
    • TESCAN MAGNA
    • TESCAN TIMA-X
  • Двулучевые сканирующие электронные микроскопы
    Двулучевые сканирующие электронные микроскопы
    • TESCAN AMBER
    • TESCAN AMBER X
    • TESCAN SOLARIS
    • TESCAN SOLARIS X
  • Рентгеновские томографы
    Рентгеновские томографы
    • TESCAN CoreTOM
    • TESCAN DynaTOM
  • Детекторы и аксессуары TESCAN
    Детекторы и аксессуары TESCAN
    • Детекторы SE
    • Детекторы BSE
    • Детекторы In-Beam
    • Детекторы STEM
    • Детекторы CL
    • Детектор SITD
    • Аксессуары
  • Аналитические системы
    Аналитические системы
    • EDS
    • EBSD
    • WDS
    • TOF-SIMS
    • AFM
  • Сопутствующее оборудование
    Сопутствующее оборудование
    • Напылительные установки
    • Ионная полировка
    • Сушка в критической точке
    • Микромеханическая обработка
    • Системы измерения и подавления ЭМ полей
  • Специальное оборудование
    Специальное оборудование
    • Высоковакуумные установки
    • Колонны ORSAY PHYSICS
  • Прочие детекторы и аксессуары
    Прочие детекторы и аксессуары
    • Столики Deben MICROTEST
    • Столик с нагревом GATAN Murano™
    • Нанозондовые столики Kleindiek Prober Shuttle
  • Расходные материалы
    Расходные материалы
    • Электропроводящие ленты, диски, пасты
    • Столики и держатели для крепления образцов
    • Контейнеры для хранения образцов
    • Материалы для обслуживания микроскопов
    • Сеточки для TEM
    • Иглы для наноманипуляторов
    • Наборы для криминалистики
    • Материалы для напыления
    • Материалы для изготовления реплик
Расходные материалы
Применение
  • Академия ТЕСКАН
    • Что такое СЭМ?
    • Детекторы и аксессуары
    • Внутрикамерные детекторы
    • Внутрилинзовые детекторы
    • FIB-SEM: области и возможности применения
    • Обзор методов пробоподготовки
    • Список литературы
  • Статьи
  • Галерея изображений
  • Видеоматериалы
Новости
Календарь
Контакты
    TESCAN
    Меню  
    • Главная
    • О компании
      • История TESCAN
      • TESCAN в России и СНГ
      • Новости
      • Вакансии
      • Лицензии и сертификаты
    • Оборудование
      • Сканирующие электронные микроскопы
        • TESCAN VEGA Compact
        • TESCAN VEGA
        • TESCAN MIRA
        • TESCAN CLARA
        • TESCAN MAGNA
        • TESCAN TIMA-X
      • Двулучевые сканирующие электронные микроскопы
        • TESCAN AMBER
        • TESCAN AMBER X
        • TESCAN SOLARIS
        • TESCAN SOLARIS X
      • Рентгеновские томографы
        • TESCAN CoreTOM
        • TESCAN DynaTOM
      • Детекторы и аксессуары TESCAN
        • Детекторы SE
        • Детекторы BSE
        • Детекторы In-Beam
        • Детекторы STEM
        • Детекторы CL
        • Детектор SITD
        • Аксессуары
      • Аналитические системы
        • EDS
        • EBSD
        • WDS
        • TOF-SIMS
        • AFM
      • Сопутствующее оборудование
        • Напылительные установки
        • Ионная полировка
        • Сушка в критической точке
        • Микромеханическая обработка
        • Системы измерения и подавления ЭМ полей
      • Специальное оборудование
        • Высоковакуумные установки
        • Колонны ORSAY PHYSICS
      • Прочие детекторы и аксессуары
        • Столики Deben MICROTEST
        • Столик с нагревом GATAN Murano™
        • Нанозондовые столики Kleindiek Prober Shuttle
      • Расходные материалы
        • Электропроводящие ленты, диски, пасты
        • Столики и держатели для крепления образцов
        • Контейнеры для хранения образцов
        • Материалы для обслуживания микроскопов
        • Сеточки для TEM
        • Иглы для наноманипуляторов
        • Наборы для криминалистики
        • Материалы для напыления
        • Материалы для изготовления реплик
    • Расходные материалы
    • Применение
      • Академия ТЕСКАН
        • Что такое СЭМ?
        • Детекторы и аксессуары
        • Внутрикамерные детекторы
        • Внутрилинзовые детекторы
        • FIB-SEM: области и возможности применения
        • Обзор методов пробоподготовки
        • Список литературы
      • Статьи
      • Галерея изображений
      • Видеоматериалы
    • Новости
    • Календарь
    • Контакты
    Заказать звонок
    +7 (812) 322 58 99
    TESCAN
    • Главная
    • О компании
      • Назад
      • О компании
      • История TESCAN
      • TESCAN в России и СНГ
      • Новости
      • Вакансии
      • Лицензии и сертификаты
    • Оборудование
      • Назад
      • Оборудование
      • Сканирующие электронные микроскопы
        • Назад
        • Сканирующие электронные микроскопы
        • TESCAN VEGA Compact
        • TESCAN VEGA
        • TESCAN MIRA
        • TESCAN CLARA
        • TESCAN MAGNA
        • TESCAN TIMA-X
      • Двулучевые сканирующие электронные микроскопы
        • Назад
        • Двулучевые сканирующие электронные микроскопы
        • TESCAN AMBER
        • TESCAN AMBER X
        • TESCAN SOLARIS
        • TESCAN SOLARIS X
      • Рентгеновские томографы
        • Назад
        • Рентгеновские томографы
        • TESCAN CoreTOM
        • TESCAN DynaTOM
      • Детекторы и аксессуары TESCAN
        • Назад
        • Детекторы и аксессуары TESCAN
        • Детекторы SE
        • Детекторы BSE
        • Детекторы In-Beam
        • Детекторы STEM
        • Детекторы CL
        • Детектор SITD
        • Аксессуары
      • Аналитические системы
        • Назад
        • Аналитические системы
        • EDS
        • EBSD
        • WDS
        • TOF-SIMS
        • AFM
      • Сопутствующее оборудование
        • Назад
        • Сопутствующее оборудование
        • Напылительные установки
        • Ионная полировка
        • Сушка в критической точке
        • Микромеханическая обработка
        • Системы измерения и подавления ЭМ полей
      • Специальное оборудование
        • Назад
        • Специальное оборудование
        • Высоковакуумные установки
        • Колонны ORSAY PHYSICS
      • Прочие детекторы и аксессуары
        • Назад
        • Прочие детекторы и аксессуары
        • Столики Deben MICROTEST
        • Столик с нагревом GATAN Murano™
        • Нанозондовые столики Kleindiek Prober Shuttle
      • Расходные материалы
        • Назад
        • Расходные материалы
        • Электропроводящие ленты, диски, пасты
        • Столики и держатели для крепления образцов
        • Контейнеры для хранения образцов
        • Материалы для обслуживания микроскопов
        • Сеточки для TEM
        • Иглы для наноманипуляторов
        • Наборы для криминалистики
        • Материалы для напыления
        • Материалы для изготовления реплик
    • Расходные материалы
    • Применение
      • Назад
      • Применение
      • Академия ТЕСКАН
        • Назад
        • Академия ТЕСКАН
        • Что такое СЭМ?
        • Детекторы и аксессуары
        • Внутрикамерные детекторы
        • Внутрилинзовые детекторы
        • FIB-SEM: области и возможности применения
        • Обзор методов пробоподготовки
        • Список литературы
      • Статьи
      • Галерея изображений
      • Видеоматериалы
    • Новости
    • Календарь
    • Контакты
    • +7 (812) 322 58 99
    г. Санкт-Петербург, Гражданский проспект д.11, офис 212; А/Я 24, здание института «Гипроникель»
    info@tescan.ru
    • Вконтакте
    • YouTube
    • Главная
    • Оборудование
    • Специальное оборудование
    • Колонны ORSAY PHYSICS
    • Cobra ExB
    • Cobra ExB

    Cobra ExB

    • Описание
    • Характеристики
    • Фото
    • Документы
    Описание

    Cobra ExB - это специализированная мульти-ионная колонна (FIB) фирмы Orsay Physics, построенная на базе хорошо зарекомендовавшей себя галлиевой ионной колонны модели Cobra.

    В этой колонне вместо жидкометаллического галлиевого источника применяется жидкосплавный источник ионов LMAIS, который формирует широкий ансамбль видов ионов c разными зарядами и массами от легких элементов до тяжелых многоатомных кластеров.

    В конструкцию этой модели добавлен разработанный компанией Orsay Physics фильтр Вина (Wien Filter) с низкой аберрацией, служащий для выбора вида ионов с необходимым для конкретного приложения отношением массы к заряду. Селекция ионов проводится благодаря регулируемым электрическому и магнитному полям (ExB). Для повышения селективности в конце фильтра Вина установлен набор из 12 подвижных апертур.

    Помимо стандартных источников AuSi и AuGe, фирма Orsay Physics по запросу разрабатывает индивидуальные варианты источников из металлических сплавов, например, на основе Si, Cr, Fe, Co, Ni, In, Sn, Mn, Pb и т.д.

    Используя мульти-ионную колонну Cobra ExB исследователь получает большое разнообразие видов ионных пучков как для травления, так и для прецизионной локальной имплантации, что значительно расширяет перечень решаемых задач - становится возможным избежать загрязнения образца галлием, что важно для некоторых приложений, селективно имплантировать в поверхность различные ионы, более гибко управлять локальностью травления, генерацией вторичных ионов и другими процессами.

    Cobra ExB легко адаптируется к любым вакуумным камерам, также доступна в высоковакуумной конфигурации.


    Au нанокатализатор Самоорганизация Ge нанокристаллов 

    Примеры наноструктурирования с применением Cobra ExB: Au нанокатализатор (характерные размеры - 50 нм), самоорганизация Ge нанокристаллов (характерные размеры - 50 нм).

    Характеристики

    Жидкосплавный источник ионов (LMAIS): AuGe / AuSi / Bi / Ga (альтернативные LMAIS могут быть доступны по запросу).

    Возможные виды ионов: Au+, Au++, Au3+, Ge+, Si+, Si++, кластеры золота (Aunq+ с отношением n/q до 100), Bi+, Bi+, …

    Диапазон энергий ионного пучка (HV): 1 – 30 кэВ.

    12 подвижных апертур.

    Фильтр Вина с набором из 12 подвижных апертур точного выбора вида ионов с заданным отношением массы к заряду. (M/ΔM > 45).

    Ток пучка ионов: 1 пА – 20 нА.

    Гарантированное разрешение колонны (при использовании Ga+ на WD=12 мм, HV=30 кэВ) для различных токов ионного зонда:

    1 пА 5 нм
    10 пА 15 нм
    50 пА 30 нм

    Полностью интегрированные электростатический прерыватель пучка и цилиндр Фарадея для прецизионного измерения тока зонда.

    Жидкосплавный источник ионов LMAIS помещён в картридж для быстрой и лёгкой замены и обслуживания.

    Пневматический клапан изолирует ионную пушку от нижней части колонны для обеспечения легкой замены источника ионов LMAIS и обслуживания пушки.

    Возможна ультра-высоковакуумная конфигурация (отжиг при температуре до 120 °C).

    Фото
    • Cobra ExB
    Документы
    Cobra ExB
    9.1 Мб
    PUBLICATIONS début à 2013_MP_AD_EV
    144.3 Кб

    Поделиться
    Назад к списку
    Оборудование
    Применение
    Новости
    Пользователи и партнеры
    Все статьи и заметки
    Материаловедение
    Микроэлектроника
    Геология и минералогия
    Науки о живом
    Записаться на демонстрационное исследование
    Сервисное обслуживание
    Лаборатория под ключ
    +7 (812) 322 58 99
    г. Санкт-Петербург, Гражданский проспект д.11, офис 212; А/Я 24, здание института «Гипроникель»
    info@tescan.ru
    © ООО «‎ТЕСКАН» 2021
    Разработка сайта  –