Cobra ExB - это специализированная мульти-ионная колонна (FIB) фирмы Orsay Physics, построенная на базе хорошо зарекомендовавшей себя галлиевой ионной колонны модели Cobra.
В этой колонне вместо жидкометаллического галлиевого источника применяется жидкосплавный источник ионов LMAIS, который формирует широкий ансамбль видов ионов c разными зарядами и массами от легких элементов до тяжелых многоатомных кластеров.
В конструкцию этой модели добавлен разработанный компанией Orsay Physics фильтр Вина (Wien Filter) с низкой аберрацией, служащий для выбора вида ионов с необходимым для конкретного приложения отношением массы к заряду. Селекция ионов проводится благодаря регулируемым электрическому и магнитному полям (ExB). Для повышения селективности в конце фильтра Вина установлен набор из 12 подвижных апертур.
Помимо стандартных источников AuSi и AuGe, фирма Orsay Physics по запросу разрабатывает индивидуальные варианты источников из металлических сплавов, например, на основе Si, Cr, Fe, Co, Ni, In, Sn, Mn, Pb и т.д.
Используя мульти-ионную колонну Cobra ExB исследователь получает большое разнообразие видов ионных пучков как для травления, так и для прецизионной локальной имплантации, что значительно расширяет перечень решаемых задач - становится возможным избежать загрязнения образца галлием, что важно для некоторых приложений, селективно имплантировать в поверхность различные ионы, более гибко управлять локальностью травления, генерацией вторичных ионов и другими процессами.
Cobra ExB легко адаптируется к любым вакуумным камерам, также доступна в высоковакуумной конфигурации.
Примеры наноструктурирования с применением Cobra ExB: Au нанокатализатор (характерные размеры - 50 нм), самоорганизация Ge нанокристаллов (характерные размеры - 50 нм).
