Оборудование

ионная колонна с жидкометаллическим источником ионов Ga⁺ (LMIS)

ионная колонна с плазменным источником ионов

компактная электронная колонна с катодом Шоттки

мульти-ионная колонна c жидкосплавным источником ионов (LMAIS)