ПО >> AutoSlicer

AutoSlicer

AutoSlicer — это программный модуль двухколонных систем TESCAN FIB-SEM (систем, у которых генерируется ионный пучок для модификации поверхности образца в дополнение к электронному пучку для ультраструктурных наблюдений). Этот удобный в использовании инструмент предназначен для автоматизации наиболее распространенных задач, решаемых на двухлучевых FIB-SEM системах, таких как приготовление поперечного сечения или подготовка ламелей для дальнейшего исследования их на просвечивающем электронном микроскопе. Полная автоматизация этих процессов позволяет увеличить производительность системы и сократить усилия оператора. Оператор задает ряд объектов на разных участках образца, после чего процесс может протекать автономно без участия оператора, чаще всего AutoSlicer запускается на ночь.

Высокая пропускная способность и точность

Все процессы пробоподготовки призваны обеспечить максимальную производительность, для чего в колоннах TESCAN FIB-SEM использован инновационный Fast Cross Section подход, который более чем в 2 раза увеличивает скорость травления по сравнению с традиционными приемами. Параллельное травление сразу нескольких близко расположенных объектов минимизирует артефактное пере-осаждение и приводит к получению идеально симметричных объектов.

Встроенная база данных скоростей травления материалов (а также база, настраиваемая пользователем) и интуитивно понятные предустановки FIB гарантируют высокую точность и воспроизводимость процесса для всех материалов. Чтобы на каждом этапе обработки получающиеся объекты оставались в центре окна сканирования и в фокусе, автоматически выполняются вычисленные из геометрических соображений сдвиг изображения и изменение фокусных настроек; также возможна автоматическая коррекция дрейфа, что обеспечивает высокую точность обработки выбранной области образца.

Настолько просто, насколько это может быть просто

Легкий в использовании мастер настройки состоит всего из трех шагов:
  1. Определение структуры.
  2. Выбор параметров процесса.
  3. Старт процесса.

Все параметры и настройки процесса могут быть сохранены в файл проекта с тем, чтобы использовать их в дальнейшем. Такие объекты, как поперечные сечения или ламели для TEM задаются в «живом» окне сканирования FIB с помощью мыши или путем определения их размеров в диалоговом окне.

Технические требования

Модуль AutoSlicer может использоваться только с двухлучевыми микроскопами TESCAN FIB-SEM 3-го или более позднего поколения. Для приготовления TEM-ламелей требуется система инжекции газов (GIS), в которой есть по крайней мере одна форсунка для инжекции металла.

Три этапа AutoSlicer