янв 22, 2018

Двулучевой микроскоп FIB-SEM TESCAN S8000G

Новое поколение микроскопов FIB-SEM TESCAN S8000G: Новое поколение двулучевых микроскопов FIB-SEM задает новые стандарты качества работы с образцом.

Микроскоп TESCAN S8000G — первый в линейке приборов нового семейства TESCAN – серии S8000. Двулучевой микроскоп FIB-SEM TESCAN S8000G представляет собой самодостаточный аналитический комплекс, который обладает всеми преимуществами, способными удовлетворить самые взыскательные требования на производстве, в науке и образовании. Микроскоп обеспечивает превосходное качество изображений с высочайшим контрастом, что особенно важно в процессе работы с наноразмерными объектами, а также открывает дальнейший потенциал для решения целого круга инженерно-технических задач в наноиндустрии, действуя предельно точно и несравненно легко.

Вся линейка микроскопов TESCAN S8000 комплектуется новым поколением электронных колонн BrightBeamTM, бескомпромиссные характеристики которых позволяют достигнуть принципиально нового уровня ультравысоких разрешений изображения без применения иммерсионного режима, достигая максимальной универсальности микроанализа, включая исследование магнитных материалов, а также живого SEM контроля процессов ионного травления. Новая колонна оснащается электронной оптикой, которая позволяет улучшить пространственное разрешение, особенно при малых энергиях электронного пучка, что как нельзя лучше подходит для анализа деликатных и непроводящих материалов. С другой стороны, оптимальное взаимодействие новейшей оригинальной ионной колонны OrageTM Ga FIB, оснащенной современной ионной оптикой, и инновационной системой подачи газов OptiGasTM определяет микроскоп TESCAN S8000G как инструмент мирового класса, отвечающий самым высоким требованиям и стандартам в области подготовки и анализа наноразмерных структур.

Универсальный модульный дизайн программного обеспечения, направленный на реализацию направляемой последовательности технологических действий, гарантирует удобство управления и контроля всеми функциями прибора, обеспечивая гибкое совмещение сложных технологий и простоты использования. Микроскоп TESCAN S8000G идеально подойдет для выполнения самых передовых и высокотехнологичных процессов в роли полноценной аналитической платформы для тех, кто ежедневно стремиться к лучшему пониманию и поиску прорывных путей в науке и технике.

Ключевые особенности

Новое поколение электронных колонн BrightBeamTM для достижения ультравысокого разрешения и контрастного изображения

  • Запатентованное исполнение новой гибридной электростатической и магнитной 70°-объективной линзы электронной колонны BrightBeamTM для достижения максимальной универсальности.
  • Получение электронных изображений ультравысокого разрешения без использования иммерсионного режима позволяет использовать микроскоп для анализа деликатных и трудных образцов, включая исследование магнитных материалов, а также открывает возможности для SEM контроля в реальном времени процессов ионного травления.
  • Новая система детектирования, куда входят осевой детектор In-beam Axial и многофункциональный Multidetector для селективного отбора полезного сигнала, как по углу выхода электронов, так и по их энергии, обеспечивает полный контроль над чувствительностью к особенностям поверхности и возможность разноконтрастного исследования для улучшения восприятия и углублённого понимания действительности.
  • Новое поколение управляющей электроники с возможностью сбора реального электронного сигнала одновременно по 8-ми каналам.
  • Электронная пушка на основе катода с полевой эмиссией типа Шоттки позволят достигать величины тока зонда до 400 нА с возможностью быстрого изменения энергии электронного пучка.
  • Технология электропитания линз EquiPowerTM позволяет эффективно рассеивать тепло, что позволяет достигнуть превосходной стабильности электронной колонны в целом.
  • Технология торможения пучка (BDT, опция) для достижения предельного пространственного разрешения при низких и сверхнизких энергиях электронного зонда с возможностью одновременной регистрации SE и BSE сигналов.