VEGA 3 EasyProbe - Компактный сканирующий электронный микроскоп с энергодисперсионным микроанализатором

VEGA3 SBU – EasyProbe — это компактный сканирующий электронный микроскоп (СЭМ), интегрированный с энергодисперсионным микроанализатором определенной марки (ЭДС Bruker). Среди отличительных особенностей прибора назовем превосходное качество изображений; высокий уровень автоматизации; быстрый и предельно простой в использовании микроанализ, количественные результаты которого размещаются непосредственно на «живом» изображении. Способность вакуумной системы создавать переменное давление в камере микроскопа позволяет исследовать в том числе непроводящие образцы в их естественном состоянии без какого-либо напыления токопроводящим слоем.

Ключевые особенности VEGA3 SB – EasyProbe:

Микроанализатор (ЭДС) полностью интегрирован в ПО управления микроскопом, что позволяет быстро и предельно просто получать результаты количественного элементного анализа.

Интерфейс программы управления EasySEMTM ориентирован на управление микроскопом и получение результатов количественного микроанализа «в одно касание» сенсорного монитора.

Управление микроскопом

Специально для микроскопа VEGA3 SB – EasyProbe разработано программное обеспечение EasySEMTM, предельно облегчающее управление микроскопом и оптимизированное под использование сенсорного экрана. Программа управления варианта EasySEM дает доступ ко всем основным функциям получения изображений и позволяет выполнять ЭДС-анализ в одно касание. Когда One-Touch EDX панель активирована, система автоматически выводит на «живое» изображение результаты количественного элементного анализа той области, в которой было сделано касание. Высокий уровень автоматизации и самодиагностики микроскопа в фоновом режиме обеспечивает высокое качество результатов даже для начинающих пользователей. Предусмотрено три уровня доступа к функциям микроскопа, что позволяет опытным операторам задействовать дополнительные функции. Помимо EasySEM-интерфейса доступно классическое ПО управления микроскопом — VegaTC на платформе WindowsTM, где управление происходит с использованием мыши, клавиатуры, трекбола и, опционально, контрольной панели.

Программные модули:

В стандартной поставке:

  • Измерения
  • Обработка изображений
  • «Живое» 3D сканирование
  • "Живая" гамма-коррекция
  • Расчет твердости
  • Калибровка маркера для серии изображений
  • Площадь объектов
  • Таймер выключения
  • Контроль допусков
  • Видео-захват
  • EasySEMTM
  • EasyEDX (интегрированное ПО)

Опционально:

Электронная оптика

Источник электронов: Вольфрамовый нагреваемый термо-катод
Разрешение:
в режиме высокого вакуума (SE): 3,0 нм при 30 кВ
8,0 нм при 3 кВ
в режимах переменного и низкого вакуума (BSE): 3,5 нм при 30 кВ
Увеличение: от 3 × до 1 000 000 ×
(увеличение указано для изображения шириной 5 дюймов, непрерывное изменение увеличения во всем диапазоне)
Максимальное поле обзора: 7,7 мм при WDаналитич. = 10 мм
24 мм при WD = 30 мм
Ускоряющее напряжение: от 200 В до 30 кВ
Ток пучка электронов: от 1 пА (10-12 А) до 2 мкА (2•10-6 А)
Рабочие режимы электронной оптики:
Разрешение: Высокое разрешение
Глубина: Большая глубина резкости
Поле: Большое поле зрения без искажений
Широкое поле: Максимальная площадь обзора образцов в камере при минимальных увеличениях без искажений (увеличение известно)
Каналирование: Картины каналирования электронов (ECP) для оценки характеристик кристаллической ориентации образца
В режиме низкого вакуума доступны только режимы «Разрешение» и «Глубина»

Система сканирования

Скорость сканирования: От 20 нс до 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно
Режимы сканирования: Сканирование по линии и в точке.
Форма, размер и положение Окна Фокусировки плавно меняются.
Динамический фокус вплоть до наклона плоскости на ± 70°, двойной динамический фокус (для объектов, расположенных ребром).
Сдвиг и вращение области сканирования.
Коррекция наклона образца.
3D пучок – поворот оси сканирования на заданный угол вокруг XY оси.
"Живое" стереоскопическое изображение.

Вакуумная система

Вакуум в камере образцов:
Режим высокого вакуума: < 9 × 10-3 Па*
Режим переменного вакуума: 3 - 150 Па
Режим низкого вакуума: 3 - 500 Па**
Вакуум в колонне: < 9 × 10-3 Па*
Типичное время откачки после смены образцов: < 3 минут

* давление < 5 × 10-4 Па достижимо, точное измерение давления возможно при заказе опционального вакуумного датчика,
** требуется вставить разделительную апертуру

Камера

Внутренний диаметр: 160 мм
Ширина дверцы: 120 мм
Число портов: 10
Подвеска камеры и колонны: Механическая (резино-пружинная)

Столик образцов

Тип: Эуцентрический
Перемещения: Mоторизовано по 3-м осям:
X = 45 мм – моторизовано*
Y = 45 мм – моторизовано*
Z = 27 мм – ручное
Z'= 6 мм – ручное
Вращение: 360° непрерывно – моторизовано*
Наклон: от –90° до +90° – ручной
Максимальная высота образца: 36 мм
* относительные перемещения, нет возможности воспроизводить сохраненные ранее позиции.
Диапазон перемещений может зависеть от WD, от размера образцов и от конфигурации установленных детекторов

В стандартной поставке:

SE– детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли (YAG кристалл),

EasyEDX* – полностью интегрированный в ПО микроскопа

R-BSE** – выдвижной (опционально: моторизованный) кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристалл) с высокой чувствительностью и с разрешением по среднему атомному номеру 0.1,

Измерение поглощенного тока зонда,

Индикация касания — остановка перемещения столика при касании образцом частей камеры или детекторов.

Опционально:

ИК -телекамера для обзора камеры образцов,

* — интегрированные продукты других производителей.
** — для SBU детектор BSE входит в стандартную поставку, для SBH — опциональный.

Опциональные аксессуары для микроскопа Vega3 EasyProbe:

Контрольная панель для управления отдельными функциями микроскопа TESCAN вне программы управления микроскопа (USB-интерфейс) Прерыватель электронного зонда

Технические характеристики EasyEDX:

Энергетическое разрешение 133 эВ (Mn Kα) при скорости счета 100 000 имп./сек,
Наименование детектора: XFlashTM Detector 410 M, п/п кристалл активной площадью 10 мм2,
Окно детектора типа SLEW, детектирование элементов от B (5) до Am (95),
Охлаждение детектора на основе элементов Пельтье (жидкий азот НЕ требуется),
Максимальная скорость счета 150 000 имп./сек,
Количественный анализ: бесстандартный Pb-ZAF

Возможности EasyEDX:
Сбор и анализ спектра, количественный профиль вдоль линий, количественное картирование

Компактный сканирующий микроскоп Vega3 EasyProbe
Компактный сканирующий микроскоп Vega3 EasyProbe
Компактный сканирующий микроскоп Vega3 EasyProbe
Компактный сканирующий микроскоп Vega3 EasyProbe

Порошковый гипс

Область применения: Цементная промышленность
Настройки SEM:

HV 20 кВ
Поле обзора 95,6 мкм

BSE-изображение порошкового гипса. Напыление токопроводящим слоем не использовалось.

Образец был прикреплен к держателю с помощью серебряной краски и исследовался в микроскопе VEGA3 SEM

Зольная пыль

Область применения: Цементная промышленность
Настройки SEM:

HV 20 кВ
Поле обзора 212 мкм

SE-изображение зольной пыли. Напыление токопроводящим слоем не использовалось.
При наблюдении образца зольной пыли применялся именно детектор вторичных электронов (SE), так как SE-сигнал особенно чувствителен к топографии поверхности (в отличие от BSE).