Полностью управляемый с компьютера сканирующий электронный микроскоп с классическим вольфрамовым термокатодом и предметной камерой SB (максимальная высота образца 36 мм), предназначенный как для исследований в высоком вакууме, так и для низковакуумных операций (комплектация UniVac). Отличительными особенностями данного микроскопа являются: прекрасные оптические свойства, возможность захвата изображения и вывод немерцающего цифрового изображения высокого разрешения, современный дружественный интерфейс программного обеспечения для управления микроскопом, работающего в среде WindowsTM, а также большой выбор форматов для сохранения изображений, система архивирования данных, обработки и удобного просмотра изображений, проведение геометрических измерений на полученной картинке, автоматическая система настройки параметров микроскопа и множество других автоматизированных процедур.
Необходимый для работы уровень вакуума достигается за несколько минут с помощью комбинации высокопроизводительных турбомолекулярного и форвакуумного насосов. Электронный микроскоп версии SBU (комплектация UniVac) позволяет исследовать непроводящие образцы в режиме с переменным давлением в камере. Кроме того, существует возможность измерения истинного профиля, площади или объема объектов на образце с помощью программного модуля 3D Метрология (технология 3D Beam Technology).
Компактный сканирующий электронный микроскоп в высоковакуумном исполнении с моторизованным по 3-м осям столиком образцов. Предназначен для исследований образцов небольшого размера (высотой до 36 мм), проводящих электрический ток, либо с нанесенным на них токопроводящим покрытием (например слоем углерода).
VEGA3 SBUСохраняя все преимущества сканирующего электронного микроскопа с высоким уровнем вакуума, данная модель также позволяет работать в режиме переменного вакуума в камере образцов (комплектация UniVac). Таким образом, появляется техническая возможность исследовать не проводящие или биологические водосодержащие образцы в их естественном состоянии без напыления токопроводящего слоя.
VEGA3 SB - EasyProbeСканирующий электронный микроскоп VEGA3 EasyProbe — это компактный и легкий в управлении инструмент с интегрированным рентгеновским энергодисперсионным микроанализатором определенной марки. Микроскоп EasyProbe доступен как в высоковакуумном исполнении, так и в варианте с переменным вакуумом (в комплектации UniVac). Высочайшее качество изображения, значительный уровень автоматизации микроскопа, простота в использовании и быстрота в получении результатов качественного элементного анализа - главные достоинства этого прибора.
| Источник электронов: | Вольфрамовый нагреваемый термо-катод | ||||||||||
| Разрешение: |
| ||||||||||
| Увеличение: | от 3 × до 1 000 000 × (увеличение указано для изображения шириной 5 дюймов, непрерывное изменение увеличения во всем диапазоне) | ||||||||||
| Максимальное поле обзора: | 7,7 мм при WDаналитич. = 10 мм 24 мм при WD = 30 мм | ||||||||||
| Ускоряющее напряжение: | от 200 В до 30 кВ | ||||||||||
| Ток пучка электронов: | от 1 пА (10-12 А) до 2 мкА (2•10-6 А) | ||||||||||
| Рабочие режимы электронной оптики: |
|
| Скорость сканирования: | От 20 нс до 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно |
| Режимы сканирования: | Сканирование по линии и в точке. Форма, размер и положение Окна Фокусировки плавно меняются. Динамический фокус вплоть до наклона плоскости на ± 70°, двойной динамический фокус (для объектов, расположенных ребром). Сдвиг и вращение области сканирования. Коррекция наклона образца. 3D пучок – поворот оси сканирования на заданный угол вокруг XY оси. "Живое" стереоскопическое изображение. Возможны произвольные формы окна сканирования с опциональным модулем DrawBeam. |
| Вакуум в камере образцов: |
| ||||||
| Вакуум в колонне: | < 9 × 10-3 Па* | ||||||
| Типичное время откачки после смены образцов: | < 3 минут |
* давление < 5 × 10-4 Па достижимо, точное измерение давления возможно при заказе опционального вакуумного датчика
** требуется вставить разделительную апертуру
| Внутренний диаметр: | 160 мм |
| Ширина дверцы: | 120 мм |
| Число портов: | 10 |
| Подвеска камеры и колонны: | Механическая (резино-пружинная) |
| Тип: | Эуцентрический |
| Перемещения: |
В стандартной поставке: моторизовано по 3-м осям: X = 45 мм – моторизовано* Y = 45 мм – моторизовано* Z = 27 мм – ручное Z'= 6 мм – ручное Вращение: 360° непрерывно – моторизовано* Наклон: от –90° до +90° – ручной |
| Максимальная высота образца: | 36 мм |
SE – детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли (YAG кристалл),
R-BSE1 – выдвижной (опционально: моторизованный) кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристалл) с высокой чувствительностью и с разрешением по среднему атомному номеру 0.1,
Измерение поглощенного тока зонда,
Индикация касания — остановка перемещения столика при касании образцом частей камеры или детекторов
1 — для SBU детектор BSE входит в стандартную поставку, для SBH — опциональный.
LVSTD до 500 Па – оригинальный детектор вторичных электронов для переменного вакуума, модификация детектора типа Эверхарта-Торнли, U.S. патент №7,193,222 B2,
Fixed BSE – фиксированный кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристалл) с высокой чувствительностью и с разрешением по среднему атомному номеру 0.1,
R-dual Scintillator BSE – выдвижной (опционально: моторизованный) сдвоенный детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристаллы),
R 4-Quadrant Semiconductor BSE – выдвижной (опционально: моторизованный) 4-хсегментный полупроводниковый детектор отраженных электронов,
ИК-телекамера для обзора камеры образцов,
STEM – детектор для работы «на просвет» в темном и светлом поле,
CL – выдвижной (опционально: моторизованный) панхроматический катодолюминесцентный детектор, диапазоны длин волн 350-650 нм или 185–850 нм,
Color CL – выдвижной (опционально: моторизованный) трехцветный катодолюминесцентный детектор; обработка RGB каналов полностью интегрирована в программное обеспечение микроскопа, без использования внешнего сканирования; диапазон длин волн 350 – 850 нм,
EBIC – регистрация тока, наведенного электронным пучком в образце,
EasyEDX – полностью интегрированный в ПО микроскопа энергодисперсионный микроанализатор стороннего производителя (Bruker),
EDX* – энергодисперсионный спектрометр, угол возвышения 35°, WD = 15 мм,
EBSD* – анализ картин дифракции отраженных электронов (только Oxford Instruments и EDAX).
* — полностью интегрированные продукты других производителей.
Прерыватель электронного зонда
Контрольная панель для управления отдельными функциями микроскопа TESCAN вне программы управления микроскопа (USB-интерфейс)
2 - Возможные комбинации опциональных детекторов и аксессуаров должны быть согласованы с поставщиками TESCAN!
