Серия сканирующих электронных микроскопов VEGA 3

Серия сканирующих электронных микроскопов VEGA создана с учетом актуальных требований со стороны самых разных исследовательских и производственных лабораторий. Новое, 3-е поколение микроскопов VEGA является итогом 12-летнего непрерывного усовершенствования прибора. Микроскоп VEGA открывает пользователю доступ к новейшим технологиям, таким как высокопроизводительная электроника для скорейшего накопления изображений, ультраскоростная сканирующая система с компенсацией статических и динамических аберраций изображения или возможность создания собственных пользовательских процедур. Все это доступно при сохранении наилучшего соотношения цена/возможности.


Применение катода LaB6 позволяет повысить разрешающую способность микроскопа

Компания TESCAN предлагает опционально установить источник электронов на основе гексаборида лантана LaB6, который по эксплуатационным характеристикам можно разместить между вольфрамовым термокатодом и катодом Шоттки с полевой эмиссией электронов. Таким образом, сравнивая со стандартным для VEGA вольфрамовым катодом, источник LaB6 обеспечивает большую плотность тока пучка электронов при более низкой температуре эмиттера, что приводит к повышенной яркости, лучшему разрешению во всем диапазоне ускоряющих напряжений, а также увеличенному времени жизни катода LaB6. Эмиттер LaB6 подходит для аналитических приложений, требующих больших токов пучка электронов и улучшенного разрешения картинки.

Современная электронная оптика

Запатентованная 4-линзовая электронная оптика Wide Field Optics™ с дополнительной электромагнитной линзой для оптимизации формы и размера пучка позволяет получать изображения в различных режимах сканирования (разрешение, расширенная глубина фокуса, максимальное поле обзора, широкое поле обзора, качающийся зонд).

Замена эффективной финальной апертуры осуществляется с помощью электромагнита – запатентованная промежуточная линза (IML) работает в качестве устройства смены апертуры. Конструкция колонны без механически центрируемых элементов позволяет автоматизировать все процедуры настройки и юстировки электронной оптики.

Современные технологии и материалы при производстве электромагнитных катушек, а также управляющей электроники обеспечивают сверхвысокую скорость накопления изображений, вплоть до 20 нс/пиксель, с минимизацией эффектов динамической дисторсии.

Технология 3D Beam Technology позволяет оператору микроскопа отслеживать в реальном времени параметры пучка электронов с высокой точностью. Кроме того, использование уникальной технологии 3D Beam Technology открывает возможности для пользователя получать «живые» стереоскопические изображения в целях 3D навигации, а также объемных исследований микро- и наномира.

Быстрое обслуживание

Содержать микроскоп на пике производительности стало теперь легко, а время вынужденного простоя прибора сведено к минимому. Каждая деталь микроскопа тщательно разрабатывалась таким образом, чтобы добиться предельной эффективности в процессе использования, а также минимизировать усилия и ошибки оператора.

Автоматизированные процедуры

Процедуры нагрева катода и юстировки электронной пушки выполняются автоматически, в один клик, с достижением оптимальных параметров пучка электронов. Также автоматизировано множество других процедур тонкой подстройки, что существенно экономит время оператора. Автоматизированы аналитические алгоритмы и перемещение столика образцов. Дополнительный интерфейс SharkSEM открывает доступ к ключевым процедурам программы управления, включая контроль вакуума, электронной оптики, столика образцов, накопления изображений и многих других параметров, что отражено в библиотеке скриптов Phyton, на основе которых оператор может создать собственные автоматические алгоритмы работы.

Дружественный интерфейс и модули ПО

Программное обеспечение микроскопа локализовано под множество языков (в том числе русский). Каждый оператор имеет один из 4-х возможных уровней доступа, включая уровень EasySEMTM для быстрых рутинных исследований. Некоторые модули ПО стандартной комплектации:

  • атлас изображений и создание отчетов,
  • встроенная самодиагностика при каждом запуске системы,
  • дистанционное управление и диагностика,
  • Измерения, Обработка изображений, Площадь объектов и другие режимы сканирования, которые можно добавить благодаря модульной архитектуре программного обеспечения.

Имеются некоторые опциональные модули, главным образом оптимизированные под задачи автоматических исследований образцов, например Морфология и Анализ частиц или Реконструкция реального трехмерного профиля поверхности.

VEGA3 SB

Полностью управляемый с компьютера сканирующий электронный микроскоп с традиционным вольфрамовым термокатодом, предназначенный как для исследований в высоком вакууме, так и для операций в режиме низкого вакуума.

VEGA3 SB – EasyProbe

VEGA3 SBU – EasyProbe — это компактный сканирующий электронный микроскоп с возможностью установки на него энергодисперсионного спектрометра определенной марки. Среди отличительных особенностей этого инструмента: превосходное качество изображений, высокий уровень автоматизации исследований, легкость в использовании и получение количественных результатов элементного анализа одним нажатием на живое изображение.

VEGA3 LM

Полностью управляемый с компьютера сканирующий электронный микроскоп с традиционным вольфрамовым эмиттером и увеличенной камерой размера LM, предназначенный для исследований как в режиме высокого вакуума, так и низкого вакуума.

VEGA3 XM

Полностью управляемый с компьютера сканирующий электронный микроскоп с традиционным вольфрамовым термокатодом и расширенной камерой размера XM, предназначенный как для исследований в высоком вакууме, так и для низковакуумных операций.