Детекторы



Электронные микроскопы Tescan могут оснащаться детекторами для получения разнообразной информации об обрацах. Совместное использование информации с различных детекторов может расширяет возможности электронного микроскопа при решении исследовательских задач. Точность и чувствительность детекторов определяют качество работы прибора, именно, поэтому большинство детекторов имеют уникальную конструкцию, разработанную специалистами Tescan.

Детектор SE

Стандартный детектор вторичных электронов (SE - secondary electrons) позволяет получать изображения с топографическим контрастом. Таким детектором, классической конструкции типа Эверхардта-Торнлей, по умолчанию оснащаются все электронные микроскопы Tescan.
На микроскопах серии Mira дополнительно может быть установлен детектор вторичных электронов, встроенный в объективную линзу - InBeam, который позволяет получать изображения высокого качества как при низких ускоряющих напряжениях, так и при коротких фокусных расстояниях

Детекторы BSE

Декекторы отраженных электронов (BSE - backscattered electrons) предназначены для получения изображения с информацией о вариациях состава на основе контраста по среднему атомному номеру.
Большинство моделей электронных микроскопов Tescan поставляется вместе с высокочувствиетльным дектектором отраженных электронов на базе сцинтилляторного YAG кристалла. Такие детекторы обладают низким уровенем шума, не чувствительны к вторичным электронам и имеют высокое быстродействие. Для решения специализированных задач имеется возможность установки многосегментных детекторов отраженных электронов.


Детектор LVSTD

Детектор LVSTD (Low Vacuum Secondary Tescan Detector) – детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли, специально разработанный для режима низкого вакуума. Он наиболее подходит для изучения топографии поверхности непроводящих образцов.
Детектор LVSTD оснащен собственным турбомолекулярным насосом для откачки объема детектора, что позволяет изучать топографию образцов без токопроводящего покрытия образцы в условиях низкого вакуума. Детектор также подходит для изучения поверхности пористых и влагосодержащих образцов.






Детектор катодолюминесценции

Детектор катодолюминесцентного излучения предназначен для поиска и определения параметров включений, дефектов и границ зерен в материалах различной природы.
Эффективный световод в сочетании с зеркальной системой позволяет за короткое время получать CL изображения высокого качества. Детектор интегрирован в микроскоп и управляется через программную оболочку. Для стандартного спектрального диапазона возможна установка как отдельного CL детектора, так и CL детектора со сменным наконечником, совмещенного с детектором BSE.




Детектор прошедших электронов

Для исследования биологических объектов просвечивающая электронная микроскопия используется гораздо чаще чем сканирующая. Tescan разработал специальное устройство позволяющее получать изображения в проходящих электронах – TE детектор для исследования методом сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM- scanning transmission electron microscopy).
Детектор размещается на стандартном столике образцов микроскопа и позволяет получать изображения такие же, как на просвечивающем электронном микроскопе, но со всеми преимуществами сканирующего электронного микроскопа.