MIRA 3 FEG SEM

FEG SEM высокого разрешения

Новое поколение сканирующих электронных микроскопов (СЭМ) высокого разрешения серии MIRA с катодом с полевой эмиссией типа Шоттки разработано с привлечением самых современных технологий, таких как новая улучшенная высокопроизводительная электроника для более быстрого накопления изображений, ультра-скоростная сканирующая система с компенсацией статических и динамических аберраций изображения или встроенный язык программирования для создания собственных пользовательских процедур; и при этом сохраняется наилучшее соотношение цена/возможности. При проектировании СЭМ серии MIRA разработчики ориентировались на сегодняшние исследовательские и производственные запросы в широком диапазоне областей применения микроскопов. Великолепное пространственное разрешение MIRA даже при высоких плотностях тока пучка электронов является ключевой особенностью приборов этого класса, что дает пользователю существенные преимущества при использовании различных аналитических методик (например, EDX, WDX или EBSD).

Сканирующие электронные микроскопы MIRA3 выпускаются с камерами образцов нескольких размеров, маркированных как LM, XM и GM. Каждая из этих камер оснащена полностью моторизованным 5-ти осевым компуцентрическим столиком образцов, который обеспечивает возможность необходимых манипуляций с образцами и удобен в управлении. Геометрия столиков и камер идеальна для использования аналитических методик, таких как EDX, WDX или EBSD. Столики образцов в сверх-больших камерах (XM, GM) позволяют размещать тяжелые образцы с сохранением точности позиционирования.

Современная электронная оптика

  • Катод Шоттки высокой яркости гарантирует накопление изображений с прекрасным пространственным разрешением и с одновременной высокой плотностью тока пучка электронов, благодаря чему на изображениях наблюдается низкий уровень шумов.
  • Уникальная конструкция электронно-оптической колонны с тремя линзами (технология Wide Field Optics™) позволяет использовать оптическую систему в различных режимах: Разрешение, Глубина фокуса, Поле, Широкое поле, Качающийся зонд.
  • Замена эффективной финальной апертуры осуществляется с помощью электромагнита – запатентованная промежуточная линза (IML) работает в качестве устройства смены апертуры. Конструкция колонны микроскопа без единого механически центрируемого элемента позволяет автоматизировать многие процедуры настройки, включая юстировку и центрирование электронной оптики.
  • Запатентованная технология In-Flight Beam Tracing™, интегрированная с хорошо себя зарекомендовавшим программным модулем Electron Optical Design, служит для вычисления с высокой точностью параметров пучка в реальном времени и оптимизации этих параметров «на лету», что позволяет, в частности, напрямую задавать желаемый диаметр зонда либо ток зонда в непрерывном диапазоне.
  • Опциональные SE и BSE детекторы, встроенные в полюсный наконечник объективной линзы, расширяют возможности микроскопа по созданию изображений с высоким разрешением.
  • Ультра-высокая скорость сканирования.
  • Благодаря передовой технологии 3D Beam Technology оператору доступны уникальные "живые" стереоскопические изображения, которые открывают изумительный трехмерный микро- и нано-мир для 3D-исследований и 3D-навигации.

Быстрое обслуживание

Сохранить у микроскопа максимальную производительность теперь легко, и при этом время вынужденного простоя прибора минимально. Каждая деталь микроскопа тщательно разрабатывалась таким образом, чтобы добиться предельной эффективности работы оборудования и минимизировать усилия оператора.

Автоматизированные процедуры

Характерной особенностью оборудования является чрезвычайно высокий уровень автоматизации многих процедур, как связанных с настройкой микроскопа, так и исследовательских. Так, автоматизированы многие действия, связанные с юстировкой или с тонкой подстройкой прибора, что заметно экономит время оператора. Автоматизированы аналитические алгоритмы и перемещения нано-манипуляторов. Встроенный язык программирования (Python) открывает доступ к большинству опций программы управления, включая полный контроль микроскопа и столика образцов, накопление изображений, их обработку и анализ. Программирование на языке Python позволяет пользователю создавать собственные автоматические процедуры

Дружественный интерфейс и модули ПО

Программное обеспечение микроскопа локализовано под много языков (в том числе русский). Каждый оператор имеет один из 4-х возможных уровней доступа, включая уровень EasySEM™ для быстрых рутинных исследований. Некоторые модули ПО стандартной комплектации:

  • атлас изображений и создание отчетов,
  • встроенная само-диагностика при каждом запуске системы,
  • дистанционное управление/диагностика по протоколу TCP/IP,
  • Измерения, Обработка изображений, Площадь объектов и другие дополнения, которые добавляются благодаря модульной архитектуре программного обеспечения. Причем перечисленные модули, как и многие другие, входят в стандартное программное обеспечение.

Большая часть возможностей ПО включена в стандартную комплектацию, есть лишь несколько опциональных модулей, главным образом предназначенных для задач автоматизации исследований образцов, например Анализ частиц (Basic или Advanced) или Реконструкция реального трехмерного профиля поверхности (MeX).

MIRA3 LM

Полностью управляемый с компьютера сканирующий электронный микроскоп FEG SEM с катодом с полевой эмиссией, выпускается как в высоковакуумном исполнении, так и с переменным вакуумом в камере образцов. Характеризуется непревзойденными оптическими свойствами, немерцающим цифровым изображением превосходного качества. Cовременное дружественное программное обеспечение для управления микроскопом, накопления и обработки изображений, работающее в среде Windows™.

MIRA3 XM

Полностью управляемый с компьютера сканирующий электронный микроскоп FEG SEM с катодом с полевой эмиссией, выпускается как в высоковакуумном исполнении, так и с переменным вакуумом в камере образцов. Характеризуется непревзойденными оптическими свойствами, немерцающим цифровым изображением превосходного качества. Cовременное дружественное программное обеспечение для управления микроскопом, накопления и обработки изображений, работающее в среде Windows™.

MIRA3 GM

Полностью управляемый с компьютера сканирующий электронный микроскоп FEG SEM с катодом с полевой эмиссией, выпускается как в высоковакуумном исполнении, так и с переменным вакуумом в камере образцов. Характеризуется непревзойденными оптическими свойствами, немерцающим цифровым изображением превосходного качества. Cовременное дружественное программное обеспечение для управления микроскопом, накопления и обработки изображений, работающее в среде Windows™.


Wide Field Optics™ и In-Flight Beam Tracing™ являются зарегистрированными торговыми марками TESCAN, a.s.
TESCAN оставляет за собой право изменять спецификации без предварительного уведомления.