Продукция >> MAIA >> MAIA3 model 2016 GM

MAIA3 model 2016 GM

Полностью управляемый с компьютера сканирующий электронный микроскоп сверх-высокого разрешения FEG SEM с катодом с полевой эмиссией и с иммерсионной оптикой, выпускается как в высоковакуумном исполнении, так и с переменным вакуумом в камере образцов. Характеризуется непревзойденными оптическими свойствами, немерцающим цифровым изображением превосходного качества. Cовременное дружественное программное обеспечение для управления микроскопом, накопления и обработки изображений, работающее в среде Windows™; а также стандартные форматы сохранения изображений, система архивирования, обработки и удобного просмотра изображений, проведение измерений на изображении, автоматическая система настройки микроскопа и множество других автоматизированных процедур.

Аналитический потенциал

Выдающаяся запатентованная конструкция электронно-оптической колонны TriglavTM с утроенной системой детектирования TrilensTM для максимально разносторонних задач. Камера сканирующего электронного микроскопа с маркировкой GM — это предназначенная для самых разных аналитических задач сверх-большая камера, которая оборудована:

  • однополюсной объективной линзой иммерсионного типа с углом раствора конуса 60°, благодаря иммерсионой оптике реализуется ультра-высокое пространственное разрешение;
  • аналитической линзой нового дизайна, что позволяет сохранить высокое пространственное разрешение в неиммерсионном режиме - предназначено для использования вместе детекторами EDS, EBSD, WDS;
  • компуцентрическим столиком образцов, полностью моторизованным по всем 5-ти осям,
  • 20+ интерфейсных портов, аналитическая геометрия которых оптимизирована для работы с приставками EDX, WDX и EBSD, а также со многими другими детекторами;
  • детекторами сцинтилляционного типа, основой которых являются высокочувствительные YAG-кристаллы превосходного качества,
  • на выбор доступны опциональные детекторы и аксессуары.

Уровень вакуума, достаточный для полноценного функционирования микроскопа, достигается за несколько минут с помощью высокопроизводительных турбомолекулярного и форвакуумного насосов. Высокий уровень вакуума в области электронной пушки, необходимый для функционирования катода Шоттки, достигается с помощью геттерно-ионных насосов.

Микроскоп версии GMU позволяет исследовать непроводящие образцы в режиме с переменным давлением в камере.

При наличии опционального ПО возможна реконструкция трехмерного профиля поверхности с измерениями истинных размеров, площадей либо объемов объектов на поверхности.

Конфигурации микроскопа MAIA3 model 2016 GM

MAIA3 model 2016 GMH

Сканирующий электронный микроскоп с большой камерой (GM) в высоковакуумном исполнении, предназначен для широкого круга задач, в которых исследуются образцы, проводящие электрический ток, либо непроводящие с нанесенным на них токопроводящим покрытием. Микроскоп обеспечивает получение изображений непревзойденного качества.

MAIA3 model 2016 GMU

Сохраняя все преимущества высоковакуумного микроскопа, модель микроскопа для работы не только с высоким, но и с переменным вакуумом в камере образцов имеет техническую возможность исследовать непроводящие образцы в их естественном состоянии, без какого бы то ни было напыления токопроводящим слоем.

FEG SEM высокого разрешения

  • Однополюсная объективная линза иммерсионного типа с углом раствора конуса 60°, благодаря иммерсионой оптике реализуется ультра-высокое пространственное разрешение.
  • Аналитическая линза нового дизайна, что позволяет сохранить высокое пространственное разрешение в неиммерсионном режиме - предназначено для использования вместе детекторами EDS, EBSD, WDS.
  • Катод Шоттки высокой яркости для получения изображений с высоким разрешением, высокой контрастности, с низким уровнем шумов.
  • Три детектора вторичных электронов по технологии TriSETM
  • Три детектора отраженных электронов по технологии TriBETM

Современная электронная оптика

  • Улучшенная промежуточная линза для экстра-широкого поля обзора.
  • Уникальная комбинация режима crossover-free и иммерсионной линзы для эффективной работы при очень больших увеличениях.
  • Уникальная конструкция электронно-оптической колонны с тремя линзами (технология Wide Field Optics™) позволяет использовать оптическую систему в различных режимах: Разрешение, Глубина фокуса, Поле, Широкое поле, Качающийся зонд.
  • Технология EquiPowerTM для непрерывного отвода тепла, что обеспечивает великолепную термостабильность колонны.
  • Новая конструкция электронной пушки с катодом с полевой эмиссией (типа Шоттки), что обеспечивает диапазон токов электронного пучка вплоть до 400 нА.
  • Замена эффективной финальной апертуры осуществляется с помощью электромагнита – запатентованная промежуточная линза (IML) работает в качестве устройства смены апертуры.
  • Конструкция колонны микроскопа без единого механически центрируемого элемента позволяет автоматизировать многие процедуры настройки, включая юстировку и центрирование электронной оптики.
  • Запатентованная технология In-Flight Beam Tracing™, интегрированная с хорошо себя зарекомендовавшим программным модулем Electron Optical Design , служит для вычисления с высокой точностью параметров пучка в реальном времени и оптимизации этих параметров «на лету», что позволяет, в частности, напрямую задавать желаемый диаметр зонда либо ток зонда в непрерывном диапазоне.
  • Расширенный диапазон давлений в режиме низкого вакуума, с давлением в камере вплоть до 500 Па, для изучения без какого-либо напыления образцов, не проводящих электрический ток.
  • Продвинутая система электронно-лучевой литографии DrawBeam, с возможностью создания сложных векторных моделей и с программируемыми параметрами экспонирования.
  • Удобное программное обеспечение для управления микроскопом; для сохранения, архивирования, обработки и анализа изображений. Русскоязычное программное обеспечение, а также Cправка (Help) и Руководство пользователя на русском языке.
  • Встроенный удаленный доступ/диагностика микроскопа.
  • Благодаря передовой технологии 3D Beam Technology оператору доступны уникальные "живые" стереоскопические изображения, которые открывают изумительный трехмерный микро- и нано-мир для 3D-исследований и 3D-навигации.
  • Технология торможения пучка электронов (BDT) для сохранения высокого пространственного разрешения при работе с очень низкими энергиями приземления электронов (вплоть до 50 эВ).
  • Ультра-высокая скорость сканирования (вплоть до 20 нс/пиксель).
  • Удобное и разностороннее управление образцом с помощью моторизованного по всем 5-ти осям компуцентрического столика образцов.

Управление микроскопом

Управление микроскопом осуществляется из программной оболочки MaiaTC на платформе Windows™ с использованием клавиатуры, мыши и трекбола. Контрольная панель и/или сенсорный монитор поставляются дополнительно.

В стандартной поставке:

  • Измерения
  • Обработка изображений
  • «Живое» 3D сканирование
  • «Живая» гамма-коррекция
  • Расчет твердости
  • Калибровка маркера для серии изображений
  • Площадь объектов
  • Таймер выключения
  • Контроль допусков
  • Встроенный язык программирования (Python)
  • Позиционирование и удобная навигация по образцу
  • Видео-захват
  • EasySEMTM

Опционально:

  • Анализ частиц Basic
  • Анализ частиц Advanced
  • Обозреватель образца
  • Сшивка изображений
  • Литография электронным зондом DrawBeam Basic
  • Литография электронным зондом DrawBeam Advanced
  • ПО для управления микроскопом и системой микроанализа одной мышкой и клавиатурой
  • Анализ продуктов выстрела TESCAN TRACE GSR
  • Реконструкция реального 3D профиля поверхности MeX
  • Наблюдение за системой (System Examiner)
  • Счетчик ячеек (навигация внутри сложной периодической структуры)
  • CORAL — корреляционная микроскопия, совместные исследования на сканирующем электронном и оптическом микроскопах
  • SYNOPSYS Client — корреляционная микроскопия, совместные исследования на сканирующем электронном и оптическом микроскопах для микроэлектроники

Электронная оптика

Источник электронов: Катод Шоттки высокой яркости
(катод с полевой эмиссией)
Разрешение:
   
стандартный детектора In-Beam SE

0.7 nm при 15 кВ

1.4 nm при 1 кВ

1.7 nm at 500 В

при наличии опциональной технологии торможения пучка (BDM):

1,0 нм при 1 кВ

1.2 нм при 200 В

при наличии опционального детектора «на просвет» STEM: 0,7 нм при 30 кВ
в режиме переменного вакуума (BSE): 2,0 нм при 30 кВ
Увеличение: от 4 × до 1 000 000 ×
(увеличение указано для изображения шириной 5 дюймов, непрерывное изменение увеличения во всем диапазоне)
Максимальное поле обзора: 4.3 мм при аналитическом WD = 5 мм / 7.5 мм при WD = 30 мм
Ускоряющее напряжение: от 200 В до 30 кВ / от 50 В до 30 кВ при наличии опции BDT (технологии торможения пучка электронов)
Ток пучка электронов: от 2 пА (2•10-12 А) до 400 нA (400•10-9 А)
Рабочие режимы электронной оптики:
Разрешение: ультра-высокое разрешение
Глубина: ультра-высокое разрешение с одновременной расширенной глубиной резкости
Аналитика: неиммерсионный режим для аналитических приложений (EDS, EBSD, WDS), для изучения магнитных образцов
Широкое поле: максимальная площадь обзора образцов в камере при минимальных увеличениях без искажений (увеличение известно)
   
В режиме переменного вакуума недоступен режим "Широкое поле"

Система сканирования

Скорость сканирования: От 20 нс до 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно
Режимы сканирования: Сканирование по линии и в точке. Форма, размер и положение Окна Фокусировки плавно меняются. Динамический фокус вплоть до наклона плоскости на ± 70°, двойной динамический фокус (для объектов, расположенных ребром).
Сдвиг и вращение области сканирования.
Коррекция наклона образца.
3D пучок – поворот оси сканирования на заданный угол вокруг XY оси.
"Живое" стереоскопическое изображение.
Возможны произвольные формы окна сканирования с опциональным модулем DrawBeam

Вакуумная система

Вакуум в камере образцов:
Режим высокого вакуума: < 9 × 10-3 Па*
Режим переменного вакуума: 7 – 500 Па**
* давление < 5 × 10-4 Па достижимо, точное измерение давления возможно при заказе опционального вакуумного датчика;
** – требуется вставить разделительную апертуру
Вакуум в области электронной пушки: < 3 × 10-7 Па
Типичное время откачки после смены образцов: < 3.5 минут

Камера

Внутренние размеры: 340 мм (ширина) х 315 мм (глубина)
Ширина дверцы: 340 мм (ширина) х 320 мм (высота)
Число портов: 20+
+ Конфигурация и число портов могут быть изменены под задачи заказчика
Подвеска камеры и колонны:
Стандартно: интегрированная активная
электромагнитная

Столик образцов

Тип: Компуцентрический, полностью моторизованный
Перемещения: X = 130 мм (от - 65 мм до + 65 мм)
Y = 130 мм (от - 65 мм до + 65 мм)
Z = 90 мм
Вращение 360° непрерывно
Наклон: от – 80° до + 90°
Диапазон перемещений может зависеть от WD и от размера образцов
Максимальная высота образца: 137 мм (без вращения столика),
96 мм (с вращением столика)

В стандартной поставке:

  • SE – детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли (YAG кристалл),
  • In-Beam SE – детектор вторичных электронов, встроенный в полюсный наконечник объективной линзы, предназначен для получения SE-изображений с высоким разрешением при малых рабочих расстояниях (WD);
  • R-BSE – выдвижной (опционально: моторизованный) кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG-кристалл) с высокой чувствительностью и с разрешением по среднему атомному номеру 0,1. Для электронов, рассеянных на широкие углы,
  • Mid-angle BSE - детектор отраженных электронов, расположенный внутри колонны и собирающий с высокой эффективностью электроны, рассеянные на средние углы;
  • Измерение поглощенного тока зонда,
  • Индикация касания — остановка перемещения столика при касании образцом частей камеры или детекторов,
  • ИК-телекамера для обзора камеры образцов

Опционально1:

  • LVSTD – оригинальный детектор вторичных электронов для переменного вакуума, модификация детектора типа Эверхарта-Торнли, U.S. патент №7,193,222 B2.
  • BDT package – технология торможения пучка электронов путем подачи напряжения смещения на образец, что позволяет получать изображения высокого разрешения при низких ускоряющих напряжениях. BDT package включает в себя также дополнительный In-Beam детектор, встроенный в полюсный наконечник, который в режиме BDT работает как детектор вторичных электронов, а без режима BDT работает как детектор отраженных электронов. При наличии технологии BDT энергия приземления электронов снижается вплоть до 50 эВ. Также BDT package по умолчанию содержит систему плазменной очистки камеры.
  • BDT опция – технология торможения пучка электронов путем подачи напряжения смещения на образец, что позволяет получать изображения высокого разрешения при низких ускоряющих напряжениях. BDT опция не включает в себя детектор In-Beam BSE и не включает систему плазменной очистки.
  • In-Beam LE-BSE – кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG-кристалл), встроенный в полюсный наконечник объективной линзы, предназначен для получения BSE-изображений с высоким разрешением при малых рабочих расстояниях (WD). Регистрирует отраженные электроны, распространяющиеся вдоль оси электронно-оптической колонны. Способен регистрировать отраженные электроны как при высоких энергиях первичного пучка, так и при малых энергиях.
  • Low-kV BSE — выдвижной (опционально: моторизованный) кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG-кристалл), разработанный для получения BSE-изображений как при высоких энергиях первичного пучка, так и при малых энергиях.
  • STEM – детектор для работы «на просвет» в темном и светлом поле.
  • HADF R-STEM – выдвижная моторизованная версия STEM-детектора для одновременного накопления изображений светлого поля (BF), темного поля (DF), высокоуглового темного поля (HADF).
  • CL – выдвижной (опционально: моторизованный) панхроматический катодолюминесцентный детектор, диапазоны длин волн 350-650 нм либо 185–850 нм.
  • Rainbow CL – выдвижной (опционально: моторизованный) 4-хканальный детектор цветной катодолюминесценции, содержит каналы R-, G-, B- и панхроматический. Накопление и обработка всех 4-х каналов полностью интегрированы в программное обеспечение микроскопа, без использования внешнего сканирования; диапазон длин волн 350 – 850 нм.
  • Compact CL – CL-детектор в компактном исполнении, что позволяет одновременно собирать изображения CL и BSE (требуется специальный BSE-детектор с алюминиевым покрытием);
  • Rainbow CL (Compact) – детектор Rainbow CL в компактном исполнении, что позволяет одновременно собирать изображения CL и BSE (требуется специальный BSE-детектор с алюминиевым покрытием).
  • Combined BSE/CL – выдвижной комбинированный BSE/CL-детектор, диапазон длин волн CL 350 нм – 650 нм.
  • EBIC – регистрация тока, наведенного электронным пучком в образце.
  • EDX* – энергодисперсионный спектрометр, угол возвышения 35°, при WD = 5 мм.
  • WDX* – волнодисперсионный спектрометр, угол возвышения 35°, при WD = 5 мм.
  • EBSD* – детектор для анализа картин дифракции отраженных электронов.

* — интегрированные продукты других производителей.

Опциональные аксессуары1:

  • Столик образцов с охлаждением Пельтье
  • Прерыватель электронного зонда
  • Шлюз
  • Контрольная панель для управления отдельными функциями микроскопа TESCAN вне программы управления микроскопа (USB-интерфейс)
  • Фото-навигация
  • Наноманипуляторы
  • Система плазменной очистки камеры

1 Возможные комбинации опциональных детекторов и аксессуаров должны быть согласованы с поставщиками TESCAN!
Для использования сканирующих электронных микроскопов серии MAIA необходим источник бесперебойного питания!

Сканирующий микроскоп высокого разрешения Maia3 LM model 2016
Сканирующий микроскоп высокого разрешения Maia3 LM model 2016