Продукция >> LYRA FIBxSEM

LYRA 3 FEG

LYRA 3 FEG - это удобное сочетание автоэмиссионного электронного микроскопа высокого разрешения и ионной колонны с различными дополнениями, что превращает LYRA 3 FEG в модель для самых взыскательных пользователей.

Описание системы

  • Полностью интегрированное в ПО микроскопа управление электронной колонной (SEM), ионной колонной (FIB) и системой инжектирования газов (GIS).
  • Новое поколение модуля для нанолитографии DrawBeam с возможностью программирования собственных процедур автоматизации.
  • Максимально большая камера образцов с геометрией портов, оптимизированной для задач микроанализа.

Характеристики электронной колонны (FEG SEM)

Колонна SEM на основе MIRA 3 Wide Field OpticsTM c катодом с полевой эмиссией (катодом Шоттки) и с уникальной трехлинзовой электронной оптикой Wide Field OpticsTM для оптимизации формы и размера пучка.
Функции колонны SEM:
  • Получение изображений
  • Реализация возможностей микроанализа
  • Навигация по образцам
  • Литография электронным пучком (доступно при установке опционального прерывателя электронного зонда Beam Blanker)

Характеристики ионной колонны (FIB)

Ионная колонна с уникальной ионной оптикой, оснащенная жидкометаллическим источником ионов галлия и откачивающаяся двумя независимыми ионными насосами для минимизации эффекта рассеяния.
Моторизованный механизм высокой точности для смены апертур. Прерыватель зонда и ячейка Фарадея в стандартной комплектации.
Функции колонны FIB:
  • Микро/нано модификация поверхности образцов
  • Литография ионным пучком

Характеристики системы инжектирования газов (GIS)

Несколько независимых резервуаров с газом в стандартной комплектации.
Некоторые функции системы GIS:
  • Осаждение проводящих или непроводящих материалов
  • Селективное или улучшенное травление в присутствии различных газов
  • Опционально доступна Mono-GIS система

Характеристики наноманипуляторов

В зависимости от поставленных задач предлагаются различные типы наноманипуляторов:
  • Манипулирование (например, перемещение ламелей для просвечивающей микроскопии)
  • Тестирование материалов
  • Инструменты для обработки
  • Нанозондирование и тестирование

Примеры применения 
LYRA FEG

  • Микро/нано-структурирование
  • Создание нано-прототипов
  • Контроль и анализ отказов
  • Нано-томография
  • Приготовление локальных поперечных сечений, измерение толщины тонких пленок
  • Приготовление ламелей для просвечивающей электронной микроскопии
  • Задачи криминалистической экспертизы
  • Другие задачи в области фундаментальных исследований, материаловедения и т.д.

Варианты исполнения LYRA 3 FEG

LYRA 3 XMH

Модель с рабочим значением вакуума в камере образцов порядка x 10-3Pa используется для исследований токопроводящих образцов.

LYRA 3 XMU

Модель для работы при переменном вакууме в камере образцов (вплоть до 150 Па). Сохраняя все преимущества работы в режиме высокого вакуума, при переходе в режим низкого вакуума дополнительно позволяет исследовать непроводящие образцы без предварительного нанесения токопроводящего слоя.