Продукция >> FERA

fera sem

Первый в мире двухлучевой сканирующий электронный микроскоп (DualBeam FIB-SEM) с плазменной пушкой в качестве источника ионов (i-FIB). Полностью интегрированный в СЭМ плазменный источник ионов ксенона генерирует ионный пучок, ток которого может достигать 2 мкА, что ускоряет скорость травления более чем в 50 раз по сравнению с традиционно используемым в двухлучевых СЭМ жидкометаллическим источником ионов галлия (LMIS). Таким образом, наиболее выигрышно использовать FERA3 в тех задачах, в которых требуется стравить большой объем материала, что заняло бы слишком долгое время либо было бы вовсе недостижимо с LMIS.

Новое поколение двухлучевых сканирующих электронных микроскопов с катодом с полевой эмиссией типа Шоттки и с дополнительной ионной колонной разработано с привлечением самых современных технологий, таких как новая улучшенная высокопроизводительная электроника для более быстрого накопления изображений, ультра-скоростная сканирующая система с компенсацией статических и динамических аберраций изображения или встроенный язык программирования для создания собственных пользовательских процедур; и при этом сохраняется наилучшее соотношение цена/возможности. При проектировании FERA3 разработчики ориентировались на сегодняшние исследовательские и производственные запросы в широком диапазоне областей применения микроскопов. Великолепное пространственное разрешение электронной колонны даже при высоких плотностях тока пучка электронов, сверх-быстрая скорость травления ионным пучком, а также мощное программное обеспечение превращают двухлучевой микроскоп TESCAN FERA3 в великолепный инструмент как для элементного и текстурного микроанализа, так и для многих других применений в различных областях науки и индустрии.

Современная электронная оптика

  • Катод Шоттки высокой яркости в качестве источников электронов гарантирует накопление изображений с прекрасным пространственным разрешением и с одновременной высокой плотностью тока пучка электронов, благодаря чему достигается высокое отношение «сигнал/шум».
  • Уникальная конструкция электронно-оптической колонны с тремя линзами (технология Wide Field Optics™) позволяет использовать оптическую систему в различных режимах: Разрешение, Глубина фокуса, Поле, Широкое поле, Качающийся зонд.
  • Замена эффективной финальной апертуры осуществляется с помощью электромагнита – запатентованная промежуточная линза (IML) работает в качестве устройства смены апертуры. Конструкция колонны микроскопа без единого механически центрируемого элемента позволяет автоматизировать все процедуры настройки, включая юстировку и центрирование электронной оптики.
  • Запатентованная технология In-Flight Beam TracingTM, интегрированная с выверенным программным модулем Electron Optical Design, служит для вычисления с высокой точностью параметров пучка в реальном времени и оптимизации этих параметров «на лету», что позволяет, в частности, напрямую задавать желаемый диаметр зонда либо ток зонда в непрерывном диапазоне.
  • Опциональные SE- и BSE-детекторы, встроенные в полюсный наконечник объективной линзы, расширяют возможности микроскопа по созданию изображений высокого разрешения.
  • Все процедуры юстировки и настройки электронной оптики автоматизированы.
  • Ультра-высокая скорость сканирования.
  • Благодаря передовой технологии 3D Beam Technology оператору доступны уникальные живые стереоскопические изображения, которые открывают изумительный трехмерный микро- и нано-мир для 3D-исследований и 3D-навигации.

Высокоэффективная ионная оптика

Плазменный источник ионов ксенона высокой эффективности генерирует пучок Xe+, который позволяет удалять материал одновременно прецизионно и быстро, что необходимо, в частности, для подготовки поперечных сечений большой площади.

Быстрое обслуживание

Сохранить у микроскопа максимальную производительность теперь легко, и при этом время вынужденного простоя прибора минимально. Каждая деталь микроскопа тщательно разрабатывалась таким образом, чтобы добиться предельной эффективности работы оборудования и минимизировать усилия оператора.

Автоматизированные процедуры

Характерной особенностью оборудования является чрезвычайно высокий уровень автоматизации многих процедур, как связанных с настройкой микроскопа, так и исследовательских. Так, автоматизированы многие действия, связанные с юстировкой или с тонкой подстройкой прибора, что заметно экономит время оператора. Автоматизированы аналитические алгоритмы и перемещения нано-манипуляторов. Встроенный язык программирования (Python) открывает доступ к большинству опций программы управления, включая полный контроль микроскопа и столика образцов, накопление изображений, их обработку и анализ. Программирование на языке Python позволяет пользователю создавать собственные автоматические процедуры

Дружественный интерфейс и модули ПО

Программное обеспечение микроскопа локализовано под много языков (в том числе русский). Каждый оператор имеет один из 4-х возможных уровней доступа, включая уровень EasySEMTM для быстрых рутинных исследований.

Удобный доступ ко всем функциям микроскопа из ПО, возможны одновременное FIB-травление и SEM-сканирование для отслеживания процесса травления в реальном времени. Гибко настраиваемые параметры сбора SEM- и FIB-изображений (как «живых» изображений, так и для сохранения в файл), многооконное «живое» изображение.

Некоторые модули ПО стандартной комплектации:

  • удобная система архивирования, просмотра и обработки изображений off-line и on-line, генерация отчетов с помощью Менеджера изображений и Менеджера проектов;
  • встроенная само-диагностика при каждом запуске системы,
  • дистанционное управление/диагностика по протоколу TCP/IP,
  • Измерения, Обработка изображений, Площадь объектов и другие дополнения, которые добавляются благодаря модульной архитектуре программного обеспечения. Причем перечисленные модули, как и многие другие, входят в стандартное программное обеспечение.

Есть лишь несколько опциональных модулей, главным образом оптимизированных под задачи автоматических исследований образцов, например Анализ частиц (Basic или Advanced) или Реконструкция реального трехмерного профиля поверхности. А большая часть всех модулей ПО входит в стандартную комплектацию.

Все обновления ПО бесплатны.

FERA3 XM

Полностью управляемый с компьютера двухлучевой сканирующий электронный микроскоп с катодом с полевой эмиссией типа Шоттки в качестве источника электронов и с плазменной ионной колонной в качестве источника ионов Xe+. Опционально может быть добавлена система инжектирования газов GIS.

FERA3 GM

Полностью управляемый с компьютера двухлучевой сканирующий электронный микроскоп с катодом с полевой эмиссией типа Шоттки в качестве источника электронов и с плазменной ионной колонной в качестве источника ионов Xe+. Опционально может быть добавлена система инжектирования газов GIS.