Новости
Email facebook twitter VK

Определение линейных размеров объектов на SEM-изображениях

Определение линейных размеров объектов на SEM-изображениях

Как правильно определять линейные размеры объектов на изображениях SEM:

  1. Речь идет об измерении размеров в проекции на плоскость X-Y (не вдоль оси Z).
  2. Прежде чем проводить какие-либо линейные измерения, выполните такую последовательность действий: 1) режим RESOLUTION; 2) фокусировка; 3) размагничивание колонны; 4) убеждаемся, что фокус не «уплыл». Если уплыл, то повторная фокусировка; 5) юстировка объективной линзы вобблером.
  3. Собственно измерение с помощью модуля «Меню -> Инструменты -> Измерения».

Поясним коротко

1. Пункт 2 нужен, чтобы наиболее точно сообщить микроскопу значение WD, ведь измерения линейных размеров «привязываются» к WD. После этого выполняем измерения линейных размеров хоть в RESOLUTION (если это небольшие размеры), хоть в FIELD (если это крупные объекты), хоть в WIDE FIELD (если это очень крупные объекты), но значение WD уже не меняем!

2. Самая частая ошибка, которая приводит к некорректному определению линейных размеров – это делать попытки сфокусироваться в режимах FIELD или WIDE FIELD. Дело в том, что в режиме FIELD глубина фокуса в 5 раз больше ширины поля обзора (значение WD всегда определяется с погрешностью, равной глубине фокуса, а глубина фокуса в режиме FIELD составляет величину порядка нескольких миллиметров!). А в режиме WIDE FIELD просто нет понятия «фокусировка» из-за особого исполнения электронно-оптической колонны (объективная линза в режиме WIDE FIELD выполняет роль катушек сканирования, т.е. WD в режиме WIDE FIELD может быть каким угодно, и это никак не отразится на качестве изображения).

3. Если есть выбор – пользоваться режимом FIELD или WIDE FIELD – то выбирайте FIELD. И только в том случае, если объекты совсем уж большие и не помещаются в кадре в FIELD, тогда выбирайте WIDE FIELD.

4. Чтобы крупный объект целиком поместился в кадр, надо отодвинуть образец как можно дальше от полюсного наконечника. Зависимость ширины поля обзора от расстояния до полюсного наконечника легко понять из изображения ниже. Каждый дополнительный держатель, на который Вы ставите образец, уменьшает Вашу возможность опускать образец как можно ближе к дну камеры.

Ширина поля обзора тем больше, чем больше WD
Ширина поля обзора тем больше, чем больше WD

5. Указатель в модуле «Измерения» действует таким образом, что Вы рисуете на SEM-изображении не отрезок, длину которого хотите определить, а Вы рисуете две прямые, перпендикулярные измеряемому отрезку. У уже поставленного на изображение указателя можно менять угол наклона пары прямых и можно сдвигать одну прямую относительно другой (чтобы наилучшим образом приблизиться к тому объекту, размер которого Вы определяете).

6. Толщина линий указателя меняется в Меню -> Опции -> Предпочтения -> Наложения.

7. Если нужно определить размер объекта с очень высокой точностью, то имеет смысл вместо модуля «Измерения» использовать модуль «Анализ и измерения», чтобы построить профиль яркости поперек объекта, см. ниже. На профиле яркости лучше видно, где начало и конец объекта, а также удобно оценить погрешность измерения.

Измерения линейных размеров с помощью профиля яркости