сен 10, 2016

TESCAN представляет новую передовую технологию "Triglav" с рекордным разрешением

TESCAN с гордостью заявляет о запуске второго поколения электронных колонн с ультра-высоким разрешением. Новая колонна позволяет достичь превосходного ультра-высокого разрешения без каких-либо ограничений: 0.7 нм при энергии электронов 15 кэВ и 1 нм при 1 кэВ.

Оснащенная инновационной электронной оптикой обновленной конструкции и передовой системой детекторов, новая колонна TriglavTM гарантирует исследователям предельную чувствительность к топографии поверхности, а также высокую контрастность при низкой энергии пучка электронов. Это станет особенно полезным для различения наноразмерных особенностей на поверхности чувствительных к пучку электронов или непроводящих образцов.

Колонна TriglavTM превосходит по своим параметрам аналогичные устройства во всем диапазоне ускоряющих напряжений, однако главным отличием является предельное разрешение при низких ускоряющих напряжениях что делает эту колонну идеальным инструментом для сканирования образцов, чувствительных к электронному пучку, таких как low-k диэлектрики, фоторезисты, непроводящие материалы и ненапыленные, содержащие влагу биологические образцы. К тому же, аналитические возможности в неиммерсионном режиме также существенно улучшены, позволяя достичь бескомпромиссной эффективности.

Подробнее