Коррекция дрейфа изображения AutoLock в AZtec

Использование опции «Коррекция дрейфа изображения AutoLock» в системе микроанализа AZtec производства Oxford Instruments

При длительном EDS или EBSD-картировании может происходить дрейф изображения, что мешает картированию. Это связано либо с небольшими физическими перемещениями самого образца (например, в случае EBSD-картирования, вниз под действием силы тяжести), либо со смещением пучка электронов при сканировании (например, пучок отклоняется в сторону из-за того, что на образце накапливается заряд из-за наличия непроводящих участков). Для коррекции дрейфа в AZtec существует опция AutoLock. Идея метода AutoLock заключается в том, что периодически прерывается EDS- или EBSD-картирование и выполняется накопление контрольного SE или BSE изображения. Контрольный снимок сравнивается со стартовым снимком, и если регистрируется, что объекты на изображении немного сместились, то накопление EDS- или EBSD-карты возобновляется с таким смещением области сканирования, чтобы компенсировать зарегистрированный сдвиг.

Окно «Снимок участка» в навигаторе EDS или EBSD → Кнопка-шестеренка «Настройки» → В нижней части окна Настроек раздел, посвященный AutoLock:

После нажатия на кнопку «Настройки» можно выбрать три варианта – без коррекции дрейфа, с автоматической коррекцией либо с ручной.

1. Автоматическая коррекция дрейфа изображения:

Пользователю предлагается задать только параметры контрольного изображения: 1) если есть выбор, то детектор лучше указать тот, в котором область сканирования выглядит наиболее контрастной; 2) разрешение контрольного изображения должно быть либо таким же, как разрешение планируемой EDS- или EBSD-карты, либо выше; 3) при большей выдержке коррекция дрейфа будет надежнее, но замедлится эксперимент.

AZtec автоматически выберет алгоритм работы функции AutoLock, учитывая в первую очередь то, какая именно карта накапливается – EDS или EBSD (предполагается, что EDS-картирование — это много быстрых сканирований горизонтально расположенного образца, а EBSD-картирование — это одно медленное сканирование наклоненного образца). Если автоматический AutoLock адекватно компенсирует дрейф изображения, то рекомендуется работать в автоматическом режиме. В проблемных случаях, когда дрейф происходит со слишком большой скоростью либо в непредсказуемых направлениях, можно воспользоваться ручной настройкой AutoLock.

2. Ручная коррекция дрейфа изображения:

Пользовательский режим AutoLock предлагает оператору, а не машине, выбирать параметры AutoLock. Комментарии к выбору параметров контрольного изображения те же, что и в п. 1. В «Настройках сканирования» можно:

  • поменять временной интервал между контрольными сканированиями. Примечание: если оставить автоматический интервал, то этот интервал может автоматически варьироваться в процессе картирования в зависимости от того, насколько существенный дрейф наблюдается;
  • выбрать, будет ли контрольное изображение накапливаться с меньшего участка в центре карты (вариант для EBSD, контрольный участок в два раза меньше, чем карта), либо контрольное изображение будет собираться с области, которая шире, чем карта (вариант для EDS). Например, если в варианте «Расширенного поля» для EDS максимальный сдвиг указан 50% от ширины поля, то это будет означать, что контрольное изображение будет в два раза шире, чем участок картирования;
  • галочка «Удерживать размеры объекта» дополнительно проверяет, совпадает ли увеличение микроскопа с увеличением, которое обеспечивает система развертки AZtec. На некоторых микроскопах эта галочка может быть недоступна.

Если ожидается дрейф изображения преимущественно в одном направлении, то рекомендуется поставить галочку «Использовать функцию прогнозируемой коррекции». Если эта галочка стоит, то коррекция дрейфа выполняется не только в моменты накопления контрольных изображений, а более часто, т.е. и в моменты накопления контрольных изображений, и между ними, с шагом, заданным в «Контрольном интервале». Соответственно, величина «Контрольного интервала» должна быть меньше, чем величина «Интервала измерений».

После завершения картирования можно посмотреть историю дрейфа.