Необходимый для работы уровень вакуума достигается за несколько минут с помощью комбинации высокопроизводительных турбомолекулярного и форвакуумного насосов. Для эффективного гашения внешних вибраций предусмотрены разные варианты подвески камеры и колонны. Микроскоп версии LMU позволяет исследовать непроводящие образцы в режиме с переменным давлением в камере (комплектация UniVac). Кроме того, существует возможность измерения истинного профиля, площади или объема объектов на образце с помощью программного модуля 3D Метрология (технология 3D Beam Technology).
Сканирующий электронный микроскоп с увеличенной камерой (LM) в высоковакуумном исполнении с моторизованным по 5-ти осям столиком образцов. Предназначен для широкого круга задач, в которых исследуются токопроводящие образцы, либо не проводящие образцы с нанесенным токопроводящим покрытием (например слой углерода).
VEGA3 LMUСохраняя все преимущества сканирующего электронного микроскопа с высоким уровнем вакуума, данная модель также позволяет работать в режиме переменного вакуума в камере образцов (комплектация UniVac). Таким образом, появляется техническая возможность исследовать не проводящие или биологические водосодержащие образцы в их естественном состоянии без напыления токопроводящего слоя.
| Источник электронов: | Вольфрамовый нагреваемый термо-катод/ опционально катод LaB6 | |||||||||
| Разрешение: |
| |||||||||
| Увеличение: | от 2 × до 1 000 000 × (увеличение указано для изображения шириной 5 дюймов, непрерывное изменение увеличения во всем диапазоне) | |||||||||
| Максимальное поле обзора: | 7,7 мм при WDаналитич. 10 мм 24 мм при WD 30 мм | |||||||||
| Ускоряющее напряжение: | от 200 В до 30 кВ | |||||||||
| Ток пучка электронов: | от 1 пА (10-12 А) до 2 мкА (2•10-6 А) | |||||||||
| Рабочие режимы электронной оптики: |
|
| Скорость сканирования: | От 20 нс до 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно |
| Режимы сканирования: | Сканирование по линии и в точке. Форма, размер и положение Окна Фокусировки плавно меняются. Динамический фокус вплоть до наклона плоскости на ± 70°, двойной динамический фокус (для объектов, расположенных ребром). Сдвиг и вращение области сканирования. Коррекция наклона образца. 3D пучок – поворот оси сканирования на заданный угол вокруг XY оси. Живое стереоскопическое изображение. С опциональным модулем DrawBeam возможны произвольные формы окна сканирования. |
| Вакуум в камере образцов: |
| ||||||||
| Вакуум в пушке: | для LaB6 < 3 × 10-5 Па | ||||||||
| Вакуум в колонне: | < 9 × 10-3 Па* | ||||||||
| Типичное время откачки после смены образцов: |
|
* давление < 5 × 10-4 Па достижимо, точное измерение давления возможно при заказе опционального вакуумного датчика
** требуется установка специальной апертуры для низкого вакуума
| Внутренний диаметр: | 230 мм | ||||
| Ширина дверцы: | 148 мм | ||||
| Число портов: | 11+ | ||||
| Подвеска камеры и колонны: |
|
| Тип: | Компуцентрический, полностью моторизованный |
| Перемещения: |
X = 80 мм (от -40 мм до +40 мм) Y = 60 мм (от -30 мм до +30 мм) Z = 47 мм Вращение 360° непрерывно Наклон: от –80° до +80° Диапазон перемещений может зависеть от WD, от размера образцов и от конфигурации установленных детекторов |
| Максимальная высота образца: | 81 мм (без вращения столика), 60 мм (с вращением столика) |
SE – детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли (YAG кристалл),
R-BSE1 – выдвижной (опционально: выдвижной моторизованный) кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристалл) с высокой чувствительностью и с разрешением по среднему атомному номеру 0.1,
Измерение поглощенного тока зонда,
Индикация касания — остановка перемещения столика при касании образцом частей камеры или детекторов
ИК-телекамера для обзора камеры или детекторов
1 — для SBU детектор BSE входит в стандартную поставку, для LMH — опциональный.LVSTD до 500 Па – оригинальный детектор вторичных электронов для переменного вакуума, модификация детектора типа Эверхарта-Торнли, U.S. патент №7,193,222 B2,
LVSTD до 1000 Па – оригинальный детектор вторичных электронов для переменного вакуума, среда N2,
LVSTD до 1000 Па – оригинальный детектор вторичных электронов для переменного вакуума, среда водных паров либо N2,
Fixed BSE – фиксированный кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристалл) с высокой чувствительностью и с разрешением по среднему атомному номеру 0.1,
R-dual Scintillator BSE – выдвижной (опционально: моторизованный) сдвоенный детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристаллы),
R 4-Quadrant Semiconductor BSE – выдвижной (опционально: моторизованный) 4-хсегментный полупроводниковый детектор отраженных электронов,
STEM – детектор для работы «на просвет» в темном и светлом поле,
CL – выдвижной (опционально: моторизованный) панхроматический катодолюминесцентный детектор, диапазоны длин волн 350-650 нм или 185–850 нм,
Color CL – выдвижной (опционально: моторизованный) трехцветный катодолюминесцентный детектор; обработка RGB каналов полностью интегрирована в программное обеспечение микроскопа, без использования внешнего сканирования; диапазон длин волн 350 – 850 нм,
Combined BSE/CL – выдвижной комбинированный BSE/CL-детектор, диапазон длин волн CL 350 нм – 650 нм,
EBIC – регистрация тока, наведенного электронным пучком в образце,
EasyEDX – система энергодисперсионного микроанализа, EasyEDX*,
EasyEDX – полностью интегрированный в ПО микроскопа энергодисперсионный микроанализатор стороннего производителя,
EDX* – энергодисперсионный спектрометр, угол возвышения 35°, WD 15,
EBSD* – анализ картин дифракции отраженных электронов.
* — полностью интегрированные продукты других производителей.Столик образцов с охлаждением Пельтье
Прерыватель электронного зонда
Система напуска водяных паров
Контрольная панель для управления отдельными функциями микроскопа TESCAN вне программы управления микроскопа (USB-интерфейс)
Фото-навигация
Наноманипуляторы
2 - Возможные комбинации опциональных детекторов и аксессуаров должны быть согласованы с поставщиками TESCAN!
