Восстановление пароля

 

Введите код с картинки
This is a captcha-picture. It is used to prevent mass-access by robots. (see: www.captcha.net)

 

Аналитический потенциал

Камера микроскопа с маркировкой SB оснащена:
  • столиком образцов, моторизованным по 5-и осям
  • детекторами сцинтилляционного типа на основе высокочувствительных YAG-кристаллов
  • 23-мя интерфейсными портами геометрически оптимизированных для работы с детекторами EDX, WDX, EBSD
  • имеется широкий выбор доступных различных детекторов и аксессуаров камеры

Необходимый для работы уровень вакуума достигается за несколько минут с помощью комбинации высокопроизводительных турбомолекулярного и форвакуумного насосов. Электронный микроскоп версии SBU (комплектация UniVac) позволяет исследовать непроводящие образцы в режиме с переменным давлением в камере. Кроме того, существует возможность измерения истинного профиля, площади или объема объектов на образце с помощью программного модуля 3D Метрология (технология 3D Beam Technology).

Конфигурации VEGA3 SB

VEGA3 SBH

Компактный сканирующий электронный микроскоп в высоковакуумном исполнении с моторизованным по 3-м осям столиком образцов. Предназначен для исследований образцов небольшого размера (высотой до 36 мм), проводящих электрический ток, либо с нанесенным на них токопроводящим покрытием (например слоем углерода).

VEGA3 SBU

Сохраняя все преимущества сканирующего электронного микроскопа с высоким уровнем вакуума, данная модель также позволяет работать в режиме переменного вакуума в камере образцов (комплектация UniVac). Таким образом, появляется техническая возможность исследовать не проводящие или биологические водосодержащие образцы в их естественном состоянии без напыления токопроводящего слоя.

VEGA3 SB - EasyProbe

Сканирующий электронный микроскоп VEGA3 EasyProbe — это компактный и легкий в управлении инструмент с интегрированным рентгеновским энергодисперсионным микроанализатором определенной марки. Микроскоп EasyProbe доступен как в высоковакуумном исполнении, так и в варианте с переменным вакуумом (в комплектации UniVac). Высочайшее качество изображения, значительный уровень автоматизации микроскопа, простота в использовании и быстрота в получении результатов качественного элементного анализа - главные достоинства этого прибора.

Программные модули:

В стандартной поставке:

  • Измерения
  • Обработка изображений
  • «Живое» 3D сканирование
  • "Живая" гамма-коррекция
  • Расчет твердости
  • Калибровка маркера для серии изображений
  • Площадь объектов
  • Таймер выключения
  • Контроль допусков
  • Позиционирование и удобная навигация по образцу*
  • Видео-захват
  • EasySEMTM

Опционально:

* — доступно только при покупке опционального координатного столика образцов

Электронная оптика

Источник электронов: Вольфрамовый нагреваемый термо-катод
Разрешение:
в режиме высокого вакуума (SE): 3,0 нм при 30 кВ
8,0 нм при 3 кВ
в режимах переменного и низкого вакуума (BSE, LVSTD): 3,5 нм при 30 кВ
Увеличение: от 3 × до 1 000 000 ×
(увеличение указано для изображения шириной 5 дюймов, непрерывное изменение увеличения во всем диапазоне)
Максимальное поле обзора: 7,7 мм при WDаналитич. = 10 мм
24 мм при WD = 30 мм
Ускоряющее напряжение: от 200 В до 30 кВ
Ток пучка электронов: от 1 пА (10-12 А) до 2 мкА (2•10-6 А)
Рабочие режимы электронной оптики:
Разрешение: Высокое разрешение
Глубина: Большая глубина резкости
Поле: Большое поле зрения без искажений
Широкое поле: Максимальная площадь обзора образцов в камере при минимальных увеличениях без искажений (увеличение известно)
Каналирование:Картины каналирования электронов (ECP) для оценки характеристик кристаллической ориентации образца
В режиме низкого вакуума доступны только режимы "Разрешение" и "Глубина"

Система сканирования

Скорость сканирования: От 20 нс до 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно
Режимы сканирования: Сканирование по линии и в точке.
Форма, размер и положение Окна Фокусировки плавно меняются.
Динамический фокус вплоть до наклона плоскости на ± 70°, двойной динамический фокус (для объектов, расположенных ребром).
Сдвиг и вращение области сканирования.
Коррекция наклона образца.
3D пучок – поворот оси сканирования на заданный угол вокруг XY оси.
"Живое" стереоскопическое изображение.
Возможны произвольные формы окна сканирования с опциональным модулем DrawBeam.

Вакуумная система

Вакуум в камере образцов:
Режим высокого вакуума: < 9 × 10-3 Па*
Режим переменного вакуума: 3 – 150 Па
Режим низкого вакуума: 3 – 500 Па**
Вакуум в колонне:< 9 × 10-3 Па*
Типичное время откачки после смены образцов:< 3 минут

* давление < 5 × 10-4 Па достижимо, точное измерение давления возможно при заказе опционального вакуумного датчика

** требуется вставить разделительную апертуру

Камера

Внутренний диаметр:160 мм
Ширина дверцы:120 мм
Число портов:10
Подвеска камеры и колонны:Механическая (резино-пружинная)

Столик образцов

Тип:Эуцентрический
Перемещения: В стандартной поставке: моторизовано по 3-м осям:
X = 45 мм – моторизовано*
Y = 45 мм – моторизовано*
Z = 27 мм – ручное
Z'= 6 мм – ручное
Вращение: 360° непрерывно – моторизовано*
Наклон: от –90° до +90° – ручной
Максимальная высота образца:36 мм
* относительные перемещения, нет возможности воспроизводить сохраненные ранее позиции.
Опционально: возможность возврата к сохраненным позициям (при этом перемещения столика: X = 35 мм, Y = 35 мм; максимальная высота образца 34 мм). Диапазон перемещений может зависеть от WD, от размера образцов и от конфигурации установленных детекторов

В стандартной поставке:

SE – детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли (YAG кристалл),

R-BSE1 – выдвижной (опционально: моторизованный) кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристалл) с высокой чувствительностью и с разрешением по среднему атомному номеру 0.1,

Измерение поглощенного тока зонда,

Индикация касания — остановка перемещения столика при касании образцом частей камеры или детекторов

1для SBU детектор BSE входит в стандартную поставку, для SBH — опциональный.

Опционально2:

LVSTD до 500 Па – оригинальный детектор вторичных электронов для переменного вакуума, модификация детектора типа Эверхарта-Торнли, U.S. патент №7,193,222 B2,

Fixed BSE – фиксированный кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристалл) с высокой чувствительностью и с разрешением по среднему атомному номеру 0.1,

R-dual Scintillator BSE – выдвижной (опционально: моторизованный) сдвоенный детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристаллы),

R 4-Quadrant Semiconductor BSE – выдвижной (опционально: моторизованный) 4-хсегментный полупроводниковый детектор отраженных электронов,

ИК-телекамера для обзора камеры образцов,

STEM – детектор для работы «на просвет» в темном и светлом поле,

CL – выдвижной (опционально: моторизованный) панхроматический катодолюминесцентный детектор, диапазоны длин волн 350-650 нм или 185–850 нм,

Color CL – выдвижной (опционально: моторизованный) трехцветный катодолюминесцентный детектор; обработка RGB каналов полностью интегрирована в программное обеспечение микроскопа, без использования внешнего сканирования; диапазон длин волн 350 – 850 нм,

EBIC – регистрация тока, наведенного электронным пучком в образце,

EasyEDX – полностью интегрированный в ПО микроскопа энергодисперсионный микроанализатор стороннего производителя (Bruker),

EDX* – энергодисперсионный спектрометр, угол возвышения 35°, WD = 15 мм,

EBSD* – анализ картин дифракции отраженных электронов (только Oxford Instruments и EDAX).

* — полностью интегрированные продукты других производителей.

Опциональные аксессуары2:

Прерыватель электронного зонда

Контрольная панель для управления отдельными функциями микроскопа TESCAN вне программы управления микроскопа (USB-интерфейс)

2 - Возможные комбинации опциональных детекторов и аксессуаров должны быть согласованы с поставщиками TESCAN!
Универсальный сканирующий микроскоп Vega3
Универсальный сканирующий микроскоп Vega3 SB
Универсальный сканирующий микроскоп Vega3
Универсальный сканирующий микроскоп Vega3 SB
  • Порошковая металлургия. Субстрат
  • Голова муравья
  • Цемент
  • Зерна циркона
  • Диск оптического резонатора