Продукция >> VEGA >> Vega 3 XM

Забыли ваш логин?

Пароль
email

Введите код с картинки


This is a captcha-picture. It is used to prevent mass-access by robots. (see: www.captcha.net)

Аналитический потенциал

Камера микроскопа с маркировкой XM — это большая камера, предназначенная для самых разных аналитических задач, которая оборудована:
  • столиком образцов, полностью моторизованным по 5-ти осям,
  • 23-я интерфейсными портами геометрически оптимизированных для работы с детекторами EDX, WDX, EBSD
  • детекторами сцинтилляционного типа на основе высокочувствительных YAG-кристаллов
  • имеется широкий выбор доступных различных детекторов и аксессуаров предметной камеры

Необходимый для работы уровень вакуума достигается за несколько минут с помощью комбинации высокопроизводительных турбомолекулярного и форвакуумного насосов. Для эффективного гашения внешних вибраций предусмотрены разные варианты подвески камеры и колонны. Микроскоп версии LMU позволяет исследовать непроводящие образцы в режиме с переменным давлением в камере (комплектация UniVac). Кроме того, существует возможность измерения истинного профиля, площади или объема объектов на образце с помощью программного модуля 3D Метрология (технология 3D Beam Technology).

Конфигурации VEGA 3 XM

Большой размер камеры (XM) расширяет аналитический потенциал микроскопа и позволяет исследовать тонкие структуры поверхности образцов больших размеров целиком помещая их в камеру. На сегодняшний день перед электронной микроскопией стоит множество задач, в которых расчленение объекта исследования на части невозможно или крайне нежелательно. Например, когда планируется дальнейшая работа с образцом в сфере криминалистических экспертиз, где исследуемый объект является вещественным доказательством или уликой и его видоизменение недопустимо. В подобных ситуациях возможность размещение образца целиком в камере становится очень востребованной.

VEGA3 XMH

Сканирующий электронный микроскоп с большой камерой (XM) в высоковакуумном исполнении с моторизованным по 5-ти осям столиком образцов. Предназначен для широкого круга задач, в которых исследуются токопроводящие образцы, либо не проводящие образцы с нанесенным токопроводящим покрытием.

VEGA3 XMU

Сохраняя все преимущества высоковакуумного микроскопа, модель микроскопа для работы не только с высоким, но и с переменным вакуумом (UniVac) в камере образцов имеет техническую возможность исследовать непроводящие образцы в их естественном состоянии без какого-либо напыления токопроводящим слоем.

Программные модули:

В стандартной поставке:

  • Измерения
  • Обработка изображений
  • «Живое» 3D сканирование
  • Расчет твердости
  • Калибровка маркера для серии изображений
  • Площадь объектов
  • Таймер выключения
  • Контроль допусков
  • Позиционирование*
  • Видео-захват
  • EasySEMTM

Опционально:

Электронная оптика

Источник электронов: Вольфрамовый нагреваемый термо-катод/
опционально катод LaB6
Разрешение:
в режиме высокого вакуума (SE): 3 нм при 30 кВ
2 нм при 30 кВ (LaB6)
8 нм при 3 кВ
5 нм при 3 кВ (LaB6)
в режиме переменного вакуума (BSE, LVSTD): 3,5 нм при 30 кВ
2,5 нм при 30 кВ (LaB6)
Увеличение: от 2 × до 1 000 000 ×
(увеличение указано для изображения шириной 5 дюймов, непрерывное изменение увеличения во всем диапазоне)
Максимальное поле обзора: 7,7 мм при WDаналитич. 10 мм
24 мм при WD 30 мм
Ускоряющее напряжение: от 200 В до 30 кВ
Ток пучка электронов: от 1 пА (10-12 А) до 2 мкА (2•10-6 А)
Рабочие режимы электронной оптики:
Разрешение: Высокое разрешение
Глубина: Большая глубина резкости
Поле: Большое поле зрения без искажений
Широкое поле: Максимальная площадь обзора образцов в камере при минимальных увеличениях без искажений (увеличение известно)
Каналирование: Картины каналирования электронов (ECP) для оценки характеристик кристаллической ориентации образца
В режиме низкого вакуума доступны только режимы "Разрешение" и "Глубина"

Система сканирования

Скорость сканирования: От 20 нс до 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно
Режимы сканирования: Сканирование по линии и в точке.
Форма, размер и положение Окна Фокусировки плавно меняются.
Динамический фокус вплоть до наклона плоскости на ± 70°, двойной динамический фокус (для объектов, расположенных ребром).
Сдвиг и вращение области сканирования.
Коррекция наклона образца.
3D пучок – поворот оси сканирования на заданный угол вокруг XY оси.
Живое стереоскопическое изображение.
С опциональным модулем DrawBeam возможны произвольные формы окна сканирования.

Вакуумная система

Вакуум в камере образцов:
Режим высокого вакуума: < 9 × 10-3 Па*
(доступно для вольфрамового термо-катода и для LaB6)
Режим пониженного вакуума: 3 – 150 Па
(доступно только для вольфрамового термо-катода)
Режим низкого вакуума: 3 – 500 Па**
(доступно для вольфрамового термо-катода и для LaB6)
Опционально: 3 – 2000 Па**
(доступно для вольфрамового термо-катода и для LaB6)
Вакуум в пушке: для LaB6 < 3 × 10-5 Па
Вакуум в колонне: < 9 × 10-3 Па*
Типичное время откачки после смены образцов:
Режим высокого вакуума: < 3.5 минут)
Режим пониженного вакуума:< 3 минут
Режим низкого вакуума:< 3 минут

* давление < 5 × 10-4 Па достижимо, точное измерение давления возможно при заказе опционального вакуумного датчика

** требуется установка специальной апертуры для низкого вакуума

Камера

Внутренние размеры:285 мм (ширина) х 340 мм (высота)
Дверца:285 мм (ширина) х 320 мм (высота)
Число портов:12+
+ Конфигурация и число портов могут быть изменены под задачи заказчика
Подвеска камеры и колонны:
Стандартно: Пневматическая/sub>)
Опционально:Интегрированная активная
электромагнитная

Столик образцов

Тип:Компуцентрический, полностью моторизованный
Перемещения: X = 130 мм (от -50 мм до +80 мм)
Y = 130 мм (от -65 мм до +65 мм)
Z = 100 мм
Вращение 360° непрерывно
Наклон: от –30° до +90°
Диапазон перемещений может зависеть от WD, от размера образцов и от конфигурации установленных детекторов
Максимальная высота образца:145 мм (без вращения столика),
116 мм (с вращением столика)
Опциональные камера и столик: Расширенная камера
Расширенная камера с модифицированным Y-перемещением

В стандартной поставке:

SE – детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли (YAG кристалл),

R-BSE1 – выдвижной (опционально: выдвижной моторизованный) кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристалл) с высокой чувствительностью и с разрешением по среднему атомному номеру 0.1,

Измерение поглощенного тока зонда,

Индикация касания — остановка перемещения столика при касании образцом частей камеры или детекторов

ИК-телекамера для обзора камеры или детекторов

1для XMU детектор BSE входит в стандартную поставку, для XMH — опциональный.

Опционально2:

LVSTD до 500 Па – оригинальный детектор вторичных электронов для переменного вакуума, модификация детектора типа Эверхарта-Торнли, U.S. патент №7,193,222 B2,

LVSTD до 1000 Па – оригинальный детектор вторичных электронов для переменного вакуума, среда N2,

LVSTD до 1000 Па – оригинальный детектор вторичных электронов для переменного вакуума, среда водных паров либо N2,

Fixed BSE – фиксированный кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристалл) с высокой чувствительностью и с разрешением по среднему атомному номеру 0.1,

R-dual Scintillator BSE – выдвижной (опционально: моторизованный) сдвоенный детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристаллы),

R 4-Quadrant Semiconductor BSE – выдвижной (опционально: моторизованный) 4-хсегментный полупроводниковый детектор отраженных электронов,

STEM – детектор для работы «на просвет» в темном и светлом поле,

CL – выдвижной (опционально: моторизованный) панхроматический катодолюминесцентный детектор, диапазоны длин волн 350-650 нм или 185–850 нм,

Color CL – выдвижной (опционально: моторизованный) трехцветный катодолюминесцентный детектор; обработка RGB каналов полностью интегрирована в программное обеспечение микроскопа, без использования внешнего сканирования; диапазон длин волн 350 – 850 нм,

Combined BSE/CL – выдвижной комбинированный BSE/CL-детектор, диапазон длин волн CL 350 нм – 650 нм,

EBIC – регистрация тока, наведенного электронным пучком в образце,

EasyEDX – система энергодисперсионного микроанализа, EasyEDX*,
EasyEDX – полностью интегрированный в ПО микроскопа энергодисперсионный микроанализатор стороннего производителя,

EDX* – энергодисперсионный спектрометр, угол возвышения 35° или 30°, WD 15 или 10 мм соответственно,

WDX* – волнодисперсионный спектрометр, угол возвышения 35° или 30°, WD 15 или 10 мм соответственно,

EBSD* – анализ картин дифракции отраженных электронов.

* — интегрированные продукты других производителей.

Опциональные аксессуары2:

Столик образцов с охлаждением Пельтье

Прерыватель электронного зонда

Система напуска водяных паров

Шлюз

Контрольная панель для управления отдельными функциями микроскопа TESCAN вне программы управления микроскопа (USB-интерфейс)

Фото-навигация

Наноманипуляторы

2 - Возможные комбинации опциональных детекторов и аксессуаров должны быть согласованы с поставщиками TESCAN!
сканирующий электронный микроскоп Vega3 XM
сканирующий электронный микроскоп Vega3 XM