Восстановление пароля

 

Введите код с картинки
This is a captcha-picture. It is used to prevent mass-access by robots. (see: www.captcha.net)

 

Аналитический потенциал

Камера сканирующего электронного микроскопа с маркировкой GM — это предназначенная для самых разных аналитических задач сверх-большая камера, которая оборудована:

  • компуцентрическим столиком образцов, полностью моторизованным по всем 5-ти осям,
  • 20+ интерфейсных портов, аналитическая геометрия которых оптимизирована для работы с приставками EDX, WDX и EBSD, а также со многими другими детекторами;
  • детекторами сцинтилляционного типа, основой которых являются высокочувствительные YAG-кристаллы превосходного качества,
  • на выбор доступны опциональные детекторы и аксессуары.

Уровень вакуума, достаточный для полноценного функционирования микроскопа, достигается за несколько минут с помощью высокопроизводительных турбомолекулярного и форвакуумного насосов. Высокий уровень вакуума в области электронной пушки, необходимый для функционирования катода Шоттки, достигается с помощью геттерно-ионных насосов.

Микроскоп версии GMU позволяет исследовать непроводящие образцы в режиме с переменным давлением в камере; великолепные результаты получаются при анализе намагниченных образцов.

Для эффективного гашения внешних вибраций предусмотрена интегрированная активная электромагнитная подвеска.

При наличии опционального ПО возможна реконструкция трехмерного профиля поверхности с измерениями истинных размеров, площадей либо объемов объектов на поверхности.

Конфигурации микроскопа MIRA3

MIRA 3 GMH

Сканирующий электронный микроскоп со сверх-большой камерой (GM) в высоковакуумном исполнении, предназначен для широкого круга задач, в которых исследуются образцы, проводящие электрический ток, либо непроводящие с нанесенным на них токопроводящим покрытием. Микроскоп обеспечивает получение изображений непревзойденного качества.

MIRA 3 GMU

Сохраняя все преимущества высоковакуумного микроскопа, модель микроскопа для работы не только с высоким, но и с переменным вакуумом в камере образцов имеет техническую возможность исследовать непроводящие образцы в их естественном состоянии, без какого бы то ни было напыления токопроводящим слоем.

FEG SEM высокого разрешения

  • Катод Шоттки высокой яркости для получения изображений с высоким разрешением, высокой контрастностностью, с низким уровнем шумов.
  • Опциональные In-Beam детекторы (детекторы SE и/или BSE , встроенные в полюсный наконечник объективной линзы) расширяют возможности микроскопа по созданию изображений с высоким разрешением.

Современная электронная оптика

  • Уникальная конструкция электронно-оптической колонны с тремя линзами (технология Wide Field Optics™) позволяет использовать оптическую систему в различных режимах: Разрешение, Глубина фокуса, Поле, Широкое поле, Качающийся зонд.
  • Замена эффективной финальной апертуры осуществляется с помощью электромагнита – запатентованная промежуточная линза (IML) работает в качестве устройства смены апертуры.
  • Конструкция колонны микроскопа без единого механически центрируемого элемента позволяет автоматизировать многие процедуры настройки, включая юстировку и центрирование электронной оптики.
  • Запатентованная технология In-Flight Beam Tracing™, интегрированная с хорошо себя зарекомендовавшим программным модулем Electron Optical Design , служит для вычисления с высокой точностью параметров пучка в реальном времени и оптимизации этих параметров «на лету», что позволяет, в частности, напрямую задавать желаемый диаметр зонда либо ток зонда в непрерывном диапазоне.
  • Благодаря передовой технологии 3D Beam Technology оператору доступны уникальные "живые" стереоскопические изображения, которые открывают изумительный трехмерный микро- и нано-мир для 3D-исследований и 3D-навигации.
  • Ультра-высокая скорость сканирования (вплоть до 20 нс/пиксель).

Управление микроскопом

Управление микроскопом осуществляется из программной оболочки MiraTC на платформе WindowsTM с использованием клавиатуры, мыши и трекбола. Контрольная панель и/или сенсорный монитор поставляются дополнительно.

В стандартной поставке:

  • Измерения
  • Обработка изображений
  • «Живое» 3D сканирование
  • «Живая» гамма-коррекция
  • Расчет твердости
  • Калибровка маркера для серии изображений
  • Площадь объектов
  • Таймер выключения
  • Контроль допусков
  • Встроенный язык программирования (Python)
  • Позиционирование и удобная навигация по образцу
  • Видео-захват
  • EasySEMTM

Опционально:

Электронная оптика

Источник электронов: Катод Шоттки высокой яркости
(катод с полевой эмиссией)
Разрешение:
в режиме высокого вакуума (SE): 1,2 нм при 30 кВ
2,5 нм при 3 кВ
в режиме высокого вакуума при наличии опционального детектора In-Beam SE: 1,0 нм при 30 кВ
2,0 нм при 3 кВ
при наличии опциональной технологии торможения пучка (BDM): 1,5 нм при 3 кВ
при наличии опционального детектора «на просвет» STEM: 0,8 нм при 30 кВ
при наличии опционального детектора In-Beam BSE: 2,0 нм при 15 кВ
в режиме переменного вакуума (LVSTD): 1,5 нм при 30 кВ
3,0 нм при 3 кВ
в режиме переменного вакуума (BSE): 2,0 нм при 30 кВ
Увеличение: при 30 кВ: от 1 × до 1 000 000 ×
(увеличение указано для изображения шириной 5 дюймов, непрерывное изменение увеличения во всем диапазоне)
Максимальное поле обзора: 20 мм при WD = 30 мм
Ускоряющее напряжение: от 200 В до 30 кВ / от 50 В до 30 кВ при наличии опции BDT (технологии торможения пучка электронов)
Ток пучка электронов: от 2 пА (2•10-12 А) до 200 нA (200•10-9 А)
Рабочие режимы электронной оптики:
Разрешение: высокое разрешение
Глубина: большая глубина резкости
Поле: большое поле зрения без искажений
Широкое поле: максимальная площадь обзора образцов в камере при минимальных увеличениях без искажений (увеличение известно)
Каналирование: картины каналирования электронов (ECP) для оценки характеристик кристаллической ориентации образца
В режиме переменного вакуума доступны только режимы "Разрешение" и "Глубина"

Система сканирования

Скорость сканирования: От 20 нс до 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно
Режимы сканирования: Сканирование по линии и в точке. Форма, размер и положение Окна Фокусировки плавно меняются. Динамический фокус вплоть до наклона плоскости на ± 70°, двойной динамический фокус (для объектов, расположенных ребром).
Сдвиг и вращение области сканирования.
Коррекция наклона образца.
3D пучок – поворот оси сканирования на заданный угол вокруг XY оси.
"Живое" стереоскопическое изображение.
Возможны произвольные формы окна сканирования с опциональным модулем DrawBeam

Вакуумная система

Вакуум в камере образцов:
Режим высокого вакуума: < 9 × 10-3 Па*
Режим переменного вакуума: 7 – 500 Па**
* давление < 5 × 10-4 Па достижимо, точное измерение давления возможно при заказе опционального вакуумного датчика;
** – требуется вставить разделительную апертуру
Вакуум в области электронной пушки:< 3 × 10-7 Па
Типичное время откачки после смены образцов: < 3 минут

Камера

Внутренние размеры:340 мм (ширина) × 315 мм (глубина)
Дверца:340 мм (ширина) × 320 мм (высота)
Число портов:20+
+ Конфигурация и число портов могут быть изменены под задачи заказчика
Подвеска камеры и колонны: Стандартно: интегрированная активная электромагнитная

Столик образцов

Тип:Компуцентрический, полностью моторизованный
Перемещения: X = 130 мм (от –65 мм до +65 мм)
Y = 130 мм (от –65 мм до +65 мм)
Z = 100 мм
Вращение 360° непрерывно
Наклон: от –80° до +90°
Диапазон перемещений может зависеть от WD, от размера образцов и от конфигурации установленных детекторов
Максимальная высота образца:145 мм (без вращения столика),
116 мм (с вращением столика)

Детекторы и аксессуары:

В стандартной поставке:

  • SE – детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли (YAG кристалл),
  • R-BSE1 – выдвижной моторизованный кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG-кристалл) с высокой чувствительностью и с разрешением по среднему атомному номеру 0,1,
  • Измерение поглощенного тока зонда,
  • Индикация касания — остановка перемещения столика при касании образцом частей камеры или детекторов,
  • ИК-телекамера для обзора камеры образцов

1для GMU детектор BSE входит в стандартную поставку, для GMH — опциональный.

Опционально2:

  • In-Beam SE – детектор вторичных электронов, встроенный в полюсный наконечник объективной линзы, предназначен для получения изображений с высоким разрешением при малых рабочих расстояниях (WD);
  • LVSTD до 500 Па – оригинальный детектор вторичных электронов для переменного вакуума, модификация детектора типа Эверхарта-Торнли, U.S. патент №7,193,222 B2,
  • BDT package – технология торможения пучка электронов путем подачи напряжения смещения на образец, что позволяет получать изображения высокого разрешения при низких ускоряющих напряжениях. BDT package включает в себя также дополнительный In-Beam детектор, который в режиме BDT работает как детектор вторичных электронов, а без режима BDT работает как детектор отраженных электронов, встроенный в полюсный наконечник. Также BDT package по умолчанию содержит систему плазменной очистки камеры,
  • BDT опция – технология торможения пучка электронов путем подачи напряжения смещения на образец, что позволяет получать изображения высокого разрешения при низких ускоряющих напряжениях. BDT опция не включает в себя детектор In-Beam BSE и не включает систему плазменной очистки.
  • In-Beam BSE – кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG-кристалл), встроенный в полюсный наконечник объективной линзы, предназначен для получения BSE-изображений с высоким разрешением при малых рабочих расстояниях (WD);
  • R-dual Scintillator BSE – выдвижной (опционально: моторизованный) сдвоенный детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG кристаллы);
  • Retr. 4-Quadrant Semiconductor BSE – выдвижной (опционально: моторизованный) 4-хсегментный полупроводниковый детектор отраженных электронов;
  • Low-kV BSE — выдвижной (опционально: моторизованный) кольцевой детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа (YAG-кристалл), разработанный для получения BSE-изображений при низких ускоряющих напряжениях;
  • STEM – детектор для работы «на просвет» в темном и светлом поле;
  • R-STEM – выдвижная моторизованная версия STEM-детектора со встроенным держателем для ламелей;
  • CL – выдвижной (опционально: моторизованный) панхроматический катодолюминесцентный детектор, диапазоны длин волн 350-650 нм либо
    185–850 нм,
  • Rainbow CL – выдвижной (опционально: моторизованный) 4-хканальный детектор цветной катодолюминесценции, содержит каналы R-, G-, B- и панхроматический. Накопление и обработка всех 4-х каналов полностью интегрированы в программное обеспечение микроскопа, без использования внешнего сканирования; диапазон длин волн 350 – 850 нм,
  • Compact CL – CL-детектор в компактном исполнении, что позволяет одновременно собирать изображения CL и BSE (требуется специальный BSE-детектор с алюминиевым покрытием);
  • Rainbow CL (Compact) – детектор Rainbow CL в компактном исполнении, что позволяет одновременно собирать изображения CL и BSE (требуется специальный BSE-детектор с алюминиевым покрытием)
  • EBIC – регистрация тока, наведенного электронным пучком в образце,
  • EasyEDX* – полностью интегрированный в ПО микроскопа энергодисперсионный микроанализатор стороннего производителя (Bruker),
  • EDX* – энергодисперсионный спектрометр, угол возвышения 35° или 30º, WD 15 мм или 10 мм соответственно,
  • WDX* – волнодисперсионный спектрометр, угол возвышения 35° или 30º, WD 15 мм или 10 мм соответственно, требуется активная электромагнитная подвеска;
  • EBSD* – детектор для анализа картин дифракции отраженных электронов;
  • SPM* – сканирующий зондовый микроскоп (варианты AFM или STM), установленный на столик сканирующего электронного микроскопа, возможна одновременная работа SEM и SPM.

* — интегрированные продукты других производителей.

Опциональные аксессуары2:

  • Столик образцов с охлаждением Пельтье
  • Прерыватель электронного зонда
  • Система напуска водяных паров
  • Шлюз
  • Контрольная панель для управления отдельными функциями микроскопа TESCAN вне программы управления микроскопа (USB-интерфейс)
  • Фото-навигация
  • Наноманипуляторы
  • Система плазменной очистки камеры

2 Возможные комбинации опциональных детекторов и аксессуаров должны быть согласованы с поставщиками TESCAN!
Для использования сканирующих электронных микроскопов серии MIRA необходим источник бесперебойного питания!

Сканирующий микроскоп высокого разрешения MIRA3 GM