Применение >> Методические советы
Методические рекомендации

Ток первичного пучка электронов не измеряют «на лету», так как факт такого измерения испортил бы ценные параметры пучка (предельную сфокусированность в малый spot, стабильность).

В данном пособии изложена базовая последовательность действий для реконструкции трехмерного профиля поверхности образца с помощью программного обеспечения MeX от компании Alicona. Это пособие не ставит своей целью рассмотреть те богатые возможности, которые есть в ПО MeX для вычисления тех или иных метрологических характеристик поверхности. Также не рассматриваются опции для работы с проблемными образцами, например образцами с ярко выраженной периодической структурой или образцами, содержащими широкие однородные области. Для более подробного ознакомления с возможностями программы MeX обращайтесь к Руководству пользователя MeX.

Абсолютное большинство сканирующих электронных микроскопов (SEM) оснащены также системой энергодисперсионного микроанализа (EDS) для локального элементного анализа компонентов образца. Тот факт, что результаты элементного анализа могут быть не равны 100%, обычно вызывает недоумение у начинающих пользователей (особенно когда эти результаты больше 100%).
Общие рекомендации к анализу легких элементов средствами энергодисперсионного микроанализа
Использование детектора «на просвет» STEM производства TESCAN. Практические советы.
При длительном EDS или EBSD-картировании может происходить дрейф изображения, что мешает картированию. Это связано либо с небольшими физическими перемещениями самого образца, либо со смещением пучка электронов при сканировании. Для коррекции такого возможного дрейфа в AZtec существует опция AutoLock.
Построение карт напряжений зерен (strain contouring) в программном обеспечении Channel 5